في قسم الطباعة بالليثوغرافيا، يتم تحديد خصائص مادة الفوتوريزست من خلال عمليتي الخبز الناعم والخبز الصلب. فأي تغير بمقدار 2 درجة مئوية قد يؤدي إلى تغيير في درجة حرارة السطح بمقدار 20 نانومتر، وهذا التغير يظهر على شكل اختلافات في عرض الخطوط على الرقاقات. لذلك، من الضروري وجود نظام تحكم في درجة الحرارة يمكن من خلاله قياس وتكرار القراءات وتتبعها.
ما الذي يُعتبر مهمًا؟ لقد صممنا جهاز الاستشعار بالأشعة تحت الحمراء بحيث يعتمد على مصدر إشعاع ثابت في النطاق القريب من الأشعة تحت الحمراء، بالإضافة إلى كاشف معتمد، وبذلك تظل درجة الحرارة ثابتة عند ±0.1 درجة مئوية أثناء عملية الخبز. يمكن لرأس الاستشعار أن يمر عبر فتحات الفرن الضيقة، كما أن الأجزاء البصرية محمية من التسربات، مما يحافظ على دقة القراءات في غرف العمل النظيفة من الفئة 1 إلى 100. عدم تكوين أي جسيمات ناتجة عن العملية ليس مجرد شعار، بل هو نتيجة استخدام أجزاء ثابتة وطريقة تركيب ثابتة. تظل دقة القراءات ضمن نطاق 0.1% على مدار الساعة، مما يسمح بإجراء العمليات لفترات طويلة دون الحاجة إلى إعادة ضبط الجهاز.
لماذا يُستخدم هذا الجهاز في أفران الخبز؟ يتم استخدام هذا الجهاز في عمليات الخبز بدرجات حرارة محددة بدقة. يساعد هذا الجهاز في الحفاظ على درجة الحرارة ثابتة على سطح الرقاقة، مما يساعد في التحكم في الأبعاد الحرجة للرقاقة ويقلل من الحاجة إلى إعادة العمل. كما يسمح بزيادة نطاق العملية دون التأثير على الكفاءة، ويقلل من النفايات، لأن أي انحراف في درجة الحرارة يتم اكتشافه فورًا. كما يحسّن الجهاز من استقرار المعدات، حيث يقل عدد التنبيهات الخاطئة والتدخلات غير المخطط لها. النتيجة هي زيادة كفاءة الإنتاج وتحسين وقت الإنتاج.
ما الذي يجب أخذه في الاعتبار؟ يتعلق الأمر بمطابقة فتحات الفرن مع أجزاء الجهاز، بالإضافة إلى ضبط معامل الإشعاع الخاص بمادة الفوتوريزست؛ فإذا لم يتم ذلك، فإن القراءات ستكون غير دقيقة. نحن نرسل مجموعة للضبط مخصصة لأنواع معينة من الأفلام، لكن الأنواع الجديدة قد تحتاج إلى ضبط خاص. يجب تحديد وقت قصير لتوصيل الجهاز بجهاز التحكم في الفرن وضبط مسار الإشعاع. بمجرد ضبط الجهاز، يمكن للنظام أن يعمل بأقل قدر من الصيانة.