আপনার টুলের দেয়ালগুলোকে উত্তপ্ত করা বন্ধ করুন (এবং ওয়েফারগুলোকে উত্তপ্ত করা শুরু করুন।)
বেশিরভাগ সাধারণ হিটিং এলিমেন্টগুলো শক্তিকে সর্বদিকে ছড়িয়ে দেয়। ওয়েফার টুলের ক্ষেত্রে এটা বড় সমস্যা।
ভাবুন তো—ঐ তাপের বেশিরভাগই ওয়েফারে পৌঁছায় না; বরং এটা যন্ত্রের অভ্যন্তরীণ দেয়ালগুলোতে চলে যায়। ফলে দেয়ালগুলো উত্তপ্ত হয়ে যায়, যা শক্তির অপচয়। আরও খারাপ ব্যাপার হলো, এটা নিরাপত্তার জন্যও ঝুঁকিপূর্ণ। কেউই চায় না যে অপারেটররা যন্ত্রের ভিতরে হাত ঢোকানোর কারণে আহত হোক।
তাপ নিয়ন্ত্রণের উপায়
আমরা ডাইরেকশনাল ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করে এটা সামলাই। শুধুমাত্র কোয়ার্টজ টিউব ব্যবহার করার পরিবর্তে, আমরা রিফ্লেক্টর ও নির্দিষ্ট ধরনের কোটিং ব্যবহার করে তাপকে ঠিক সেই জায়গায় পাঠাই।
এভাবে তাপটি ওয়েফারের পৃষ্ঠেই থাকে; বাকি অংশে ছড়িয়ে যায় না।
যদি আপনি লক্ষ্য করেন যে আপনার টুলের দেয়ালগুলো খুব গরম হয়ে যাচ্ছে, তাহলে সম্ভবত আপনার ল্যাম্পগুলো থেকে তাপ অতিরিক্ত পরিমাণে নির্গত হচ্ছে। এটা তাপ বেরিয়ে যাওয়ার স্পষ্ট লক্ষণ।
কঠিন অংশটি
এটা এমন কোনো ব্যাপার নয় যা একবার সেট করে ভুলে যাওয়া যায়। ডাইরেকশনাল হিটিংয়ে খুব সূক্ষ্ম নিয়ন্ত্রণ দরকার।
যদি ল্যাম্পটি কয়েক মিলিমিটার সরে যায়, তাহলে ওয়েফারে ঠান্ডা অঞ্চল তৈরি হয়ে যায়। এটা খুবই সংবেদনশীল ব্যাপার।
আরও, রিফ্লেক্টরগুলোর দিকেও নজর রাখতে হয়। সময়ের সাথে সাথে এগুলো অক্সিডাইজ বা নোংরা হয়ে যায়। তখন তাপকিরণটি আবার ছড়িয়ে যায়, আর দেয়ালগুলোর তাপমাত্রা আবার বাড়তে শুরু করে।
আরও নিরাপদ ও সহজ করার উপায়
এই সিস্টেমগুলোর সবচেয়ে ভালো দিক হলো কুলিং ফ্যানগুলোর ক্ষেত্রে যা ঘটে। আপনি ঐ ফ্যানগুলোর ওপর চাপ কমাতে পারেন। যেহেতু আপনি অভ্যন্তরীণ অংশে বেশি পরিমাণে তাপ নির্গত করছেন না, তাই বাতাসটি অনেক ঠান্ডা থাকে।
আমি সবসময় এই ল্যাম্পগুলোকে উচ্চ-নির্ভুলতার সেন্সরগুলোর সাথে ব্যবহার করার পরামর্শ দিই; যাতে ওয়েফারের পৃষ্ঠটি নিয়ন্ত্রণ করা যায়, শুধুমাত্র চারপাশের বাতাস নয়।
এতে অভ্যন্তরীণ অংশগুলো ঠান্ডা থাকে, আর আপনি প্রক্রিয়ার জন্য প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা পান। খুবই সহজ।