V provozu 24/7 není sušení fotorezisty jen dalším krokem v procesu výroby. Jedná se o rozhodující faktor – buď vznikne funkční vzor, nebo se jedná o odpadní materiál.
Když světlo v troubě nemá správnou polohu, uniformita sušení se zhorší. To samozřejmě ovlivňuje i přesnost měření rozměrů. Nemůžete dosáhnout požadovaných výsledků pomocí manuálních úprav. Potřebujete zdroj tepla, který zůstane na svém místě, prostě.
Co je důležité uvnitř lampy
Lampu jsme navrhli s použitím krátkovlnných infračervených halogenových prvků umístěných v křemičitém obalu. To zajišťuje rychlou reakci a stabilní spektrální výstup. Výsledkem je uniformita teploty na úrovni čipů v rozmezí ±0,1 °C v celé oblasti sušení. Díky tomu je tok fotorezistoru a odstraňování rozpouštědel stále konzistentní.
Hlava lampy je vhodná pro použití v čistých prostorách třídy 1–100 a během provozu nevytváří žádné částice. Funguje nepřetržitě bez jakýchkoliv plánovaných poruch. Životnost lampy přesahuje 5 000 hodin a stabilita výstupu zůstává po celou dobu jejího používání zachována.
Proč se to používá v litografii
Sušení fotorezistoru položuje základy pro následné expozici a vyvolávání. Pokud to uděláte správně, snížíte množství práce potřebné k opravám, ochráníte termický rozpočet a zlepšíte přesnost měření rozměrů. Můžete použít stejnou lampu v různých fázích procesu, takže změny probíhají rychleji a cykly kalibrace jsou kratší.
Spotřeba energie klesá, protože lampa rychle ohřeje prostor a udrží stanovenou teplotu bez nadměrného přehřátí. Méně výměn lamp znamená menší riziko kontaminace a delší dobu provozu zařízení.
Důležité detaily
Lampa funguje nejlépe tehdy, když jsou optika a reflexory v troubě čisté a správně zarovnané. I při stabilním zdroji světla může dojít ke změnám v uniformitě, pokud tyto elementy nejsou v pořádku. Instalace musí odpovídat rozhraní trouby a zdroji napájení.
Lampu je potřeba kombinovat s plánem kalibrace, který odpovídá limitům vašeho systému SPC. Nahrazování lampy by mělo probíhat v určených intervalech, a ne až v případě poruchy – tak zajistíte konzistenci procesu.