Proč jsme přešli na vodotěsné infračervené lampy pro sušení polovodičů
V fázi oplachování v továrně na výrobu polovodičů máte jeden hlavní cíl: co nejrychleji odstranit vlhkost z waferu a učinit to bez zanechání jediné skvrnky špíny.
Dlouho všichni používali konvekční ohřívače s horkým vzduchem. Ale upřímně? Ohřívání obrovských objemů vzduchu je plýtvání energií. Je to pomalé, objemné a ničí vaše energetické rozpočty. Proto jsme přešli na vodotěsné infračervené (IR) lampy. Je to mnohem efektivnější způsob práce.
Tajemství spočívá v hustotě tepla
Používáme lampy s vysokou intenzitou krátkovlnného světla, protože neovlivňují vzduch. Energiu posílají přímo na povrch waferu.
Výsledek? Už nemusíte čekat, až se vzduch ohřeje. Tyto křemenné trubice dosahují požadovaných teplot během několika sekund. Je to rychlé – opravdu rychlé. A protože se tak rychle nabíjejí, nemusíte nechat stroj běžet na plný výkon, zatímco jen stagnoval.
Řešení problému „vlhkosti“
Prostředí určené k oplachování je – podle definice – vlhké. Pokud tam umístíte běžnou IR lampu, téměř okamžitě se přepne nebo zkazí. To rozhodně není dobré.
Aby se to nestalo, uzavíráme elektrody a používáme speciální křemenné obaly, které chrání lampy před vlhkostí. Díky tomu lampy neprasknou, i když je prostředí vlhké nebo když na ně dopadne kapka vody.
Ale je tu jeden problém: nemůžete prostě lampu zabalit do plastu a mít hotovo. Musíte najít rovnováhu mezi utěsněním a únikem tepla. Tato vrstva může dokonce mírně změnit spektrum světla, proto trávíme hodně času kalibrací vlnové délky. Chceme, aby energie pronikla skrz vodní film na waferu, aniž by omylem poškodila samotný substrát.
Učinění továrny ekologičtější
Odstranění konvekčních troub přináší velký rozdíl. Můžete se zbavit těch obrovských ventilátorů a celé té složité soustavy potrubí. Méně hardwaru znamená menší spotřebu energie. Celá zařízení je tak efektivnější.
Jedna rada však: pokud plánujete nahradit starý sušič vzduchu IR lampami, nezapomeňte zkontrolovat zapojení a možná také vylepšit pojistky, abyste neztratili proud pokaždé, když začne proces ohřevu.