Warum wir Gold auf unsere Infrarotlampen auftragen
In Halbleiterfabriken ist es entscheidend, die Temperaturen beim Erhitzen und Aushärten genau zu kontrollieren. Doch seien wir ehrlich: Das Erhitzen von Materialien bedeutet in der Regel einen enormen Energieverbrauch. Genau hier kommen unsere mit Gold überzogenen Kurzwellen-Infrarotlampen ins Spiel.
Wie das Gold funktioniert
Stellen Sie sich eine herkömmliche Quarzlampe vor. Sie gibt Wärme in alle Richtungen ab – auch in Richtung des Gerätestroms. Dadurch wird die Wärme für die Wafer völlig verschwendet. Das ist schade.
Deshalb tragen wir eine dünne Schicht Gold auf die Rückseite der Lampe auf. Dadurch wird die Rückseite der Lampe zu einem Spiegel. Anstatt dass die Wärme einfach verloren geht, wird sie durch das Gold wieder nach vorne reflektiert.
So entsteht ein viel intensiverer Wärmestrahl genau dort, wo er benötigt wird. Da die Energie konzentriert wird, kann man den Energieverbrauch senken, ohne die gewünschten Temperaturen zu verfehlen. Das ist einfach intelligenter.
Reduzierung der Kohlenstoffbilanz
Die meisten „grünen Fabrik-Ziele“ erscheinen als lästige Pflichten – doch hier handelt es sich um einen Gewinn für alle Beteiligten.
Diese Lampen erhitzen sich schneller und verbrauchen weniger Energie, sobald sie im Betrieb sind. Da keine Wärme mehr in den Raum abgegeben wird, muss das Lüftungssystem nicht übermäßig arbeiten, um den Reinraum wieder abzukühlen.
Weniger verschwendete Wärme bedeutet weniger kWh pro Zyklus – ganz einfach.
Die Nachteile (denn es gibt immer welche)
Es handelt sich dabei nicht um eine Zauberwaffe. Die konzentrierte Wärme ist zwar stark, doch man muss vorsichtig sein.
Falls der Abstand zwischen den Wafern etwas falsch ist, kann es zu Hotspots kommen. Man sollte sicherstellen, dass die PID-Controller sowie Sensoren auf diese höheren Erwärmungsgeschwindigkeiten eingestellt sind – sonst könnte man die gewünschten Temperaturen überschreiten.
Und noch etwas: Halten Sie die Lampen sauber. Wenn Fingerabdrücke oder Schmutz auf der Goldoberfläche landen, entstehen „Brennpunkte“. Dann geht die Reflektivität verloren, die Effizienz sinkt – und man verschwendet wieder Energie. Behandeln Sie die Lampen sorgfältig, dann werden sie ihre Arbeit ordentlich erledigen.