¿Por qué pasamos a usar lámparas infrarrojas resistentes al agua para el secado de semiconductores?
En la etapa de enjuague en las fábricas de semiconductores, el objetivo principal es eliminar rápidamente la humedad de las obleas, sin dejar ni una sola mancha de suciedad. Durante mucho tiempo, todos utilizaron sistemas de convección por aire caliente. Pero, honestamente, calentar grandes volúmenes de aire es una pérdida de tiempo y recursos. Es lento, requiere espacio y consume mucha energía. Por eso decidimos pasar a usar lámparas infrarrojas resistentes al agua. Es una forma mucho más eficiente de trabajar.
El secreto está en la densidad térmica
Utilizamos lámparas de onda corta de alta intensidad, ya que no afectan al aire circundante. Enviaron la energía directamente hacia la superficie de la oblea. El resultado: ya no hay necesidad de esperar a que el aire se caliente. Estas lámparas alcanzan la temperatura deseada en segundos. Es muy rápido. Y como se encienden tan rápidamente, no es necesario mantener la máquina funcionando a plena capacidad mientras está inactiva.
Manejar la parte “húmeda” del proceso
Los entornos de enjuague son, por definición, húmedos. Si se utiliza una lámpara infrarroja normal en ese ambiente, esta se dañará o se oxidará casi de inmediato. Eso no es bueno. Para evitarlo, sellamos los electrodos y utilizamos envoltorios de cuarzo especializados para mantenerla alejada de la humedad. Así, las lámparas no se dañan cuando hay humedad o cuando algo las salpica accidentalmente.
Pero aquí está el problema: no basta con envolver la lámpara en plástico. Hay que equilibrar ese sellado con la forma en que la energía escapa. Ese revestimiento puede cambiar ligeramente el espectro lumínico, por lo que dedicamos mucho tiempo a calibrar la longitud de onda. Queremos que la energía penetre en la capa de agua que cubre la oblea, sin dañar accidentalmente el sustrato.
Hacer que la fábrica sea un poco más ecológica
Al eliminar los hornos de convección, se logra una gran mejora en el funcionamiento de la fábrica. Se pueden eliminar esos grandes ventiladores y todo ese sistema de ductos. Menos equipos significa menos consumo energético. Todo esto hace que el conjunto sea más eficiente.
Un consejo: si planeas reemplazar un secador de aire tradicional por un sistema de lámparas infrarrojas, no basta con conectarlas y esperar lo mejor. Estas lámparas consumen mucha corriente en cuanto se encienden. Probablemente tengas que verificar tus conexiones eléctricas y, quizás, actualizar los disyuntores para evitar cortocircuitos cada vez que comience el ciclo de calentamiento.