گرم کردن ویفرها بدون ایجاد خطرات انفجاری
باید صادق باشیم: گرم کردن ویفرها در حین شستشوی شیمیایی، کاری پرخطر است. شما با محلولها و بخارات قابل اشتعال سروکار دارید؛ چیزهایی که در واقع در انتظار فرصتی برای انفجار هستند. استفاده از لامپهای مادون قرمز معمولی در چنین محیطی نه تنها خطرناک است، بلکه میتواند منجر به فاجعه شود. یک جرقه کوچک یا گرم شدن بیش از حد بدنه لامپ، میتواند باعث وقوع فاجعه شود.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ به جای قرار دادن عناصر گرمایشی در معرض هوا، آنها را در یک سیستم مهر و موم شده قرار میدهیم.
جلوگیری از ورود مواد مضر
ابتدا، عناصر مادون قرمز را در شیشه کوارتز با خلوص بالا پوشانده میکنیم؛ سپس، کل این سیستم را در یک غلاف مقاوم در برابر مواد شیمیایی و انفجار قرار میدهیم.
میتوانید آن را مانند یک زره در نظر بگیرید؛ این غلاف، مانع از تماس الکتریسیته با بخارات شیمیایی میشود. این کار از نفوذ بخارات خورنده به سیمها یا رشتههای گرمایشی جلوگیری میکند.
همچنین از درزگیرهایی استفاده میکنیم که در برابر مواد شیمیایی قوی مقاومت داشته باشند. اگر مهر و موم سیستم از بین برود، لامپ بلافاصله خراب میشود. به همین دلیل، این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در فشار بالا نیز کار کنند؛ چون در این موارد، «کافی بودن» کافی نیست.
حفظ خنکی در شرایط فشار بالا
موجهای کوتاه مادون قرمز عالی هستند؛ زیرا ویفرها را به سرعت گرم میکنند. اما مشکل اینجاست که وقتی این مقدار گرما در یک لوله مهر و موم شده قرار میگیرد، فشار ایجاد میشود. ما زمان زیادی را صرف تنظیم توان لامپ کردهایم تا از خراب شدن آن جلوگیری شود.
لطفاً از کلیدهای ساده روشن/خاموش استفاده نکنید؛ برای کنترل دقیق، به یک کنترلکننده PID نیاز دارید. این سیستم باید مدام توان را تنظیم کند تا دمای سطح ویفرها در بازهای پایینتر از نقطه اشتعال مواد شیمیایی باقی بماند. همه چیز به کنترل دقیق بستگی دارد.
معایب
هیچ چیز کامل نیست؛ اضافه کردن این لایه حفاظتی، مقاومت حرارتی کمی ایجاد میکند. شما ممکن است متوجه تأخیر کمی در انتقال گرما شوید. اما این موضوع مشکل بزرگی نیست؛ شاید فقط نیاز باشد از عناصری با توان بالاتر استفاده کنید تا به دمای مورد نظر برسید. فقط مطمئن شوید که سیستم تهویه شما به خوبی کار میکند؛ شما نمیخواهید که بخارات در اطراف بدنه لامپ تجمع کنند، حتی اگر بدنه لامپ کاملاً مهر و موم شده باشد.