در کارخانههای تولیدی با قطر ۳۰۰ میلیمتر، فرآیند گرم کردن نرم، در واقع یک روش برای آمادهسازی سطح ویفر برای فرآیندهای بعدی است؛ این فرآیند، اولین گام در کنترل ابعاد حیاتی ویفر محسوب میشود. تغییر دمای ۲ درجه سانتیگراد در سطح ویفر، میتواند باعث تغییرات نانومتری در ابعاد آن شود؛ این امر میتواند منجر به اختلالات جدی در کل محموله تولید شود. لذا، عنصر گرمایشی باید دارای پایداری حرارتی مناسبی باشد، درست مانند لنزهای استفاده شده در فرآیندهای اسکن.
چه چیزی از نظر فنی اهمیت دارد؟
ما عنصر گرمایشی مورد استفاده برای فرآیند گرم کردن نرم را بر اساس یک معیار خاص طراحی کردهایم: یکنواختی دمای سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد. این عنصر از لامپ هالوژنی با امواج کوتاه درون یک ظرف کوارتزی با خلوص بالا استفاده میکند؛ این امر باعث میشود پاسخ سریعی از سوی عنصر گرمایشی داده شود و انرژی مصرفی نیز کاهش یابد. این روش باعث میشود که پروفایل گرمایشی مناسبی حاصل شود و فرآیند حذف مواد حلکننده فوتورزیست نیز به خوبی انجام شود.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای تمیز با کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، مواد مورد استفاده به گونهای انتخاب شدهاند که در طول عملکرد دستگاه، هیچ ذرهای تولید نشود. تکرارپذیری این دستگاه نیز در حد ≤۰.۰۵ درجه سانتیگراد است؛ این موضوع باعث میشود که عرض خطوط تولید و کیفیت محصولات یکنواخت بماند.
چرا این دستگاه در فرآیندهای لیتوگرافی مؤثر است؟
برای اینکه فرآیند گرم کردن نرم بتواند با سرعت فرآیندهای تولید همگام شود، بدون اینکه باعث کاهش کیفیت محصولات شود، لازم است که این عنصر گرمایشی بتواند در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز برسد؛ این امر باعث کاهش زمان استراحت بین ویفرها میشود. طراحی این عنصر با جرم کم، باعث کاهش انتقال گرما به داخل محفظه میشود؛ این امر نیز باعث میشود که پروفایل گرمایشی مناسبی حاصل شود.
این امر منجر به رفتار قابل پیشبینی فوتورزیست، کاهش تعداد کارهای تکراری، و پایداری دمایی در تمام محمولههای تولیدی میشود. همچنین، به دلیل کنترل دقیق دما، از تخریب انرژی جلوگیری میشود.
نکاتی که باید در نظر گرفته شوند:
این عنصر گرمایشی نیاز به رابط نصب مناسب برای استفاده در اتاقهای تمیز دارد؛ همچنین، سنسور دمایی مورد استفاده باید با طیف نور لامپ هماهنگ باشد. مطمئن شوید که منبع تغذیه دستگاه، ولتاژ مورد نیاز را تأمین کند؛ همچنین، باید اطمینان حاصل کنید که کنترلکننده دستگاه بتواند خروجی لامپ را کنترل کند.
تعویض لامپ را باید به عنوان یک اقدام تعمیرات پیشگیرانه در نظر گرفت؛ لامپها عمر طولانی دارند، اما وقتی که خراب میشوند، به طور ناگهانی این اتفاق رخ میدهد. همچنین، هنگام کار با ظرف کوارتزی، باید از روشهای ضدالکتریستاتیک استفاده کرد؛ در غیر این صورت، گرد و غبار میتواند وارد ظرف شود.