Sur le poste de lithographie, c’est lors des étapes de cuisson douce et de cuisson forte que le profil du photorésiste est déterminé. Une variation de 2 °C peut entraîner un changement de Ttop de 20 nm ; cette variation se traduit par des variations de largeur des lignes sur l’ensemble des wafers. Il est donc nécessaire d’avoir un contrôle précis de la température, que l’on puisse mesurer, reproduire et suivre.
Ce qui est important dans ce processus Nous avons conçu ce capteur IR haute précision autour d’un émetteur NIR stable et d’un détecteur calibré. Ainsi, l’uniformité thermique au niveau des wafers reste comprise entre ±0,1 °C pendant toute la durée de la cuisson. La tête du capteur peut passer à travers les ouvertures étroites du four, et ses composants optiques sont hermétiquement scellés pour éviter toute déperdition de gaz. Cela permet de maintenir des lectures fiables même dans des chambres propres de classe 1–100. L’absence totale de particules n’est pas qu’une promesse : cela provient du fait qu’il n’y a pas de pièces en mouvement et que l’alignement est constant. La répétabilité des mesures reste inférieure à 0,1 % en permanence, ce qui permet de continuer à utiliser l’équipement sans avoir besoin de recalibration.
Pourquoi c’est utile dans les fours de cuisson Lors de la cuisson du photorésiste, il est essentiel de respecter des contraintes thermiques strictes. Ce capteur permet de maintenir la température souhaitée sur l’ensemble des wafers, ce qui améliore le contrôle des dimensions critiques et réduit le nombre de wafers à retraiter. On peut ainsi élargir les marges de manœuvre sans sacrifier la vitesse de production. De plus, les erreurs sont rapidement détectées, ce qui réduit les pertes. La stabilité de l’équipement s’améliore également : moins d’alarmes fausses, moins d’interventions inattendues. En résulte une meilleure productivité et des délais de traitement prévisibles.
Ce qu’il faut faire correctement L’installation consiste à ajuster l’ouverture du four et à définir correctement l’émissivité du photorésiste. Sans cela, les mesures seront erronées. Nous fournissons un kit de calibration adapté aux films courants, mais certains nouveaux matériaux peuvent nécessiter une calibration spécifique. Il suffit de planifier une courte interruption de la production pour connecter le capteur au contrôleur du four et aligner le faisceau lumineux. Une fois cela fait, le système fonctionne avec un minimum d’entretien.