Maintenir les wafers au chaud : la vérité sur le chauffage par rayonnement infrarouge pour les chariots de transport
Si vous avez déjà passé du temps dans une usine de semiconducteurs, vous connaissez les difficultés liées au transport des wafers. Il est très difficile de maintenir une température constante tout en déplaçant ces composants. Un petit erreur peut entraîner des chocs thermiques ou de la contamination, ce qui a pour conséquence une baisse significative de la qualité des produits finis.
Pendant longtemps, nous avons utilisé des fours à convection. Mais soyons honnêtes : ils sont peu efficaces et consomment énormément d’énergie. Si nous voulons vraiment atteindre l’objectif de la neutralité carbone, il faut cesser de chauffer l’air et commencer plutôt à chauffer directement les composants eux-mêmes. C’est là que le chauffage par rayonnement infrarouge à ondes courtes entre en jeu.
Chauffer là où c’est vraiment nécessaire
Le avantage du chauffage par rayonnement infrarouge à ondes courtes, c’est qu’il agit de manière directe. L’énergie atteint directement le substrat et y reste. Elle ne se répand pas dans l’air ambiant, ce qui signifie que votre système de climatisation n’a pas besoin de travailler davantage pour refroidir la pièce pendant que vous essayez de chauffer les wafers.
De plus, ce système est très rapide. Vous n’avez pas besoin d’attendre que la chambre de chauffage se réchauffe complètement. Il suffit d’allumer l’appareil, et c’est prêt.
Les détails importants concernant les matériaux
Dans une salle propre, on ne peut pas simplement utiliser n’importe quel matériau disponible. Nous utilisons des tubes en quartz de haute pureté pour une raison précise : les matériaux standards se détériorent facilement ou libèrent des gaz. Dans notre environnement, même une infime quantité de poussière peut causer des problèmes graves.
Nous recouvrons également les lampes afin de réguler le spectre d’émission. Cela permet à la chaleur de rester concentrée sur le wafer, sans endommager le cadre du chariot de transport.
Et comme les équipements peuvent tomber en panne – ce qui arrive souvent – nous utilisons des connecteurs standard. Lorsqu’une lampe tombe en panne en cours de fonctionnement, nos techniciens peuvent simplement remplacer la lampe sans avoir à réorganiser tout le système électrique ou à faire appel à un spécialiste. Tout fonctionne simplement.
L’inconvénient
Le problème, c’est que toute cette densité d’énergie comporte des risques. En effet, on injecte beaucoup de chaleur dans un espace restreint, il est donc nécessaire d’avoir un système de isolation efficace. Si le cadre du chariot de transport n’est pas correctement isolé, la chaleur se propagera dans le châssis. Cela peut entraîner des déformations du cadre ou des alertes dans la salle propre, même en pleine nuit. Il faut donc trouver le bon équilibre entre la puissance nécessaire et ce que le chariot de transport peut supporter sans se détériorer.