בתהליך הליתוגרפיה, שלבי האפייה הרכה והקשה הם אלו בהם נקבע 프로פיל הפוטורזיסט. שינוי של 2°C יכול לגרום לשינוי של 20 ננומטרים ב-Ttop, ושינוי זה מתבטא בשינויים ברוחב הקווים על פני כל שטח הוואפר. יש צורך בשליטה בטמפרטורה שניתן למדוד, לחזור עליה ולעקוב אחריה.
מה חשוב למעשה? יצרנו את החיישן האינפרא-אדום בעל הדיוק הגבוה על בסיס גוף פליטה יציב של אור באורך גל אינפרה-אדום, יחד עם גלאי מדויק. בזכות זה, האחידות התרמית על פני הוואפר נשמרת ברמה של ±0.1°C במהלך תהליך האפייה. ראש החיישן יכול לעבור דרך חלונות התנור הצרים, והאופטיקה שלו מאוטמת כדי למנוע חדירה של גזים, מה שמבטיח קריאות אמינות בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100. אי-יצירת חלקיקים אינה רק סלוגן – זה נובע מהעובדה שאין חלקים מסתובבים, וההתאמה של החיישן למסלול האור נשמרת. הדיוק של החיישן נשאר ברמה של 0.1% כל הזמן, כך שניתן לבצע תהליכים ארוכים ללא צורך בהתאמות נוספות.
למה זה חשוב בתנורי האפייה? בתהליך האפייה של פוטורזיסט יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה. החיישן הזה מאפשר שמירה על טמפרטורה קבועה על פני כל שטח הוואפר, מה שמסייע בשליטה בממדים החשובים של הוואפר ומפחית את הצורך בעבודות תיקון. ניתן להרחיב את טווח הפעולה של התהליך מבלי לפגוע בקצב הייצור, וכמות החומרים המושלכים פוחתת, מכיוון שכל שינוי בטמפרטורה נזהה מיד. גם יציבות הציוד משתפרת – יש פחות אזעקות שווא ופחות התערבויות לא צפויות. התוצאה היא שיעור ייצור גבוה יותר וזמן עיבוד קבוע שניתן לתכנן אותו.
מה צריך לעשות כדי שהכל יעבוד כראוי? ההתקנה כוללת התאמה של גודל חלון התנור והגדרת רמת הפליטה של האור עבור שכבת הפוטורזיסט. אם לא ייעשה זאת, הקריאות של החיישן יהיו לא מדויקות. אנו שולחים עם החיישן גם ערכת התאמה שמתאימה לשכבות פוטורזיסט נפוצות, אך שכבות חדשות עשויות לדרוש התאמה נוספת. יש לתכנן הפסקה קצרה בקו הייצור כדי לחבר את החיישן לבקר התנור ולהתאים את מסלול האור. לאחר מכן, המערכת תפעל בצורה יעילה ללא צורך בתחזוקה רבה.