फैब्रिकेशन फ्लोर पर, आपको पता ही होगा कि 0.2°C जितना भी तापमान में बदलाव हो, इससे क्रिटिकल डाइमेंशनों में परिवर्तन हो सकता है, जिससे उत्पादन में कमी आ सकती है। ऐसी स्थितियों में ही वैक्यूम चैंबर में उपयोग होने वाले इन्फ्रारेड हीटर बहुत काम आते हैं… वहाँ, जहाँ चालन एवं संवहन प्रक्रियाएँ सीमित होती हैं, कम दबाव के वातावरण में, सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक एवं वेफर-स्तरीय थर्मल प्रक्रियाओं के दौरान।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे हीटरों को क्वार्ट्ज कवर में लगे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों के आधार पर बनाते हैं; इससे प्रतिक्रिया तेज होती है, एवं आउटपुट स्थिर रहता है। प्रक्रिया के दौरान वेफर पर तापमान स्थिर रहता है, ±0.1°C की सीमा के भीतर। साइकル-टू-साइकल तापमान में विचलन ≤±0.5°C होता है… जिससे क्रिटिकल डाइमेंशनों की रक्षा होती है, एवं फिल्म पर लगने वाला तनाव भी नियंत्रित रहता है। इस डिज़ाइन में कोई कण उत्पन्न नहीं होता… इसलिए यह क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी आसानी से उपयोग में आ सकता है। नियंत्रण बंद-लूप में होता है… एमिटरों की प्रतिक्रिया के आधार पर ही तापमान नियंत्रित किया जाता है… चैंबर की दीवारों के तापमान के आधार पर नहीं।
यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी में, विस्कोसिटी नियंत्रित करने हेतु सॉफ्ट बेक आवश्यक है… जबकि पैटर्न को स्थिर रखने हेतु हार्ड बेक आवश्यक है। पैकेजिंग में, अंडरफिल एवं रीफ्लो प्रक्रियाओं हेतु विश्वसनीय थर्मल प्रोफाइल आवश्यक है… बिना किसी गैस निकासी के। हमारे वैक्यूम चैंबर इन्फ्रारेड हीटर 24/7 काम करते हैं… बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के… एवं ऊर्जा खपत भी नियंत्रित रहती है। इससे कम रीवर्क आवश्यक होता है… स्पेसिफिकेशन लिमिट्स भी कड़ी होती हैं… एवं रखरखाव की प्रक्रियाएँ भी आसान हो जाती हैं।
कुछ व्यावहारिक टिप्स:
इन हीटरों हेतु चैंबर के अंदर सटीक अलाइनमेंट आवश्यक है… एवं स्पेक्ट्रल स्थिरता बनाए रखने हेतु स्वच्छ ऊर्जा स्रोत आवश्यक है। ये हीटर स्टैंडर्ड वैक्यूम फ्लैंज एवं टूल सेटअपों के साथ भी काम कर सकते हैं… लेकिन इंटीग्रेशन के दौरान थर्मल मास एवं शील्डिंग का ध्यान रखना आवश्यक है… वरना आसपास के कंपोनेंट्स पर गर्मी का प्रभाव पड़ सकता है। एमिसिविटी को मापने हेतु एक छोटा सा टेस्ट रन करना आवश्यक है… ताकि चैंबर की ज्यामिति के अनुसार PID मैप सेट किया जा सके।