Mengapa kita beralih ke lampu IR tahan air untuk proses pengeringan semikonduktor
Pada tahap pembersihan di pabrik semikonduktor, tujuan utamanya adalah menghilangkan kelembapan dari permukaan wafer secepat mungkin, tanpa meninggalkan sedikit pun kotoran di sana.
Selama ini, orang-orang menggunakan alat pemanas berbasis udara panas. Namun sebenarnya, memanaskan volume udara yang besar merupakan hal yang sia-sia. Prosesnya lambat, peralatannya juga besar, dan konsumsi energinya pun tinggi. Itulah sebabnya kita beralih ke lampu inframerah tahan air. Ini merupakan cara yang lebih efektif untuk melakukan proses pengeringan tersebut.
Kunci keberhasilannya terletak pada kepadatan panasnya
Kita menggunakan lampu berintensitas tinggi karena lampu ini tidak mempengaruhi kondisi udara di sekitarnya. Energi yang dihasilkan langsung ditransfer ke permukaan wafer. Akibatnya, tidak perlu menunggu udara terpanas terlebih dahulu. Lampu ini mampu mencapai suhu yang diinginkan dalam hitungan detik. Sangat cepat. Karena itu, mesin tidak perlu tetap beroperasi pada kecepatan penuh saat tidak digunakan.
Mengatasi masalah kelembapan
Lingkungan tempat proses pembersihan dilakukan tentunya bersifat basah. Jika lampu IR biasa digunakan di sana, lampu tersebut akan cepat rusak atau teroksidasi. Hal ini tentu tidak baik. Untuk mencegah hal tersebut, kita menyegel elektroda lampu tersebut dan menggunakan selubung khusus dari kuarsa agar kelembapan tidak masuk ke dalam lampu. Dengan cara ini, lampu tidak akan rusak meski kondisi lingkungan menjadi lembap atau ada tetesan air yang mengenai lampu tersebut.
Namun, ada tantangan tersendiri: kita tidak bisa sekadar membungkus lampu dengan plastik saja. Kita perlu menyeimbangkan antara proses penyegelan tersebut dengan keluarnya panas dari lampu. Lapisan pelindung tersebut dapat mengubah spektrum cahaya sedikit, sehingga kita perlu meluangkan waktu untuk menyetel panjang gelombang cahayanya. Kita ingin agar energi yang dihasilkan dapat menembus lapisan air di permukaan wafer, tanpa merusak substratnya.
Membuat pabrik menjadi lebih ramah lingkungan
Dengan mengganti oven konvensional dengan lampu IR, dampak positifnya sangat signifikan. Kita tidak perlu lagi menggunakan alat pemanas berukuran besar serta saluran udara yang rumit. Dengan demikian, konsumsi energi pun berkurang. Semua ini membuat sistem pabrik menjadi lebih efisien.
Namun, perlu diingat bahwa jika Anda berencana mengganti alat pengering konvensional dengan lampu IR, jangan hanya mencolokkannya saja dan berharap semuanya berjalan lancar. Lampu IR membutuhkan arus listrik yang cukup besar saat dihidupkan. Anda perlu memeriksa kabelnya dan mungkin perlu meningkatkan kapasitas pemutus listriknya, agar tidak terjadi gangguan listrik setiap kali proses pemanasan dimulai.