真空チャンバー用赤外線ヒーター

ファブの現場では、ご存知の通り、感光材を加熱する際に、わずか0.2℃の温度変動でも、重要な寸法に影響を与え、歩留まりが低下してしまいます。そこで、真空チャンバー内で使用される赤外線ヒーターが役立つのです。つまり、伝導や対流が制限されているチャンバー内部で、低圧状態の下で、ソフトベイクやハードベイク...