ASMLリソグラフィーランプのスペア部品

製造現場では、各露光ロットにおける熱的条件は厳密に定められています。もしランプの出力が変動したり、焼成温度が不安定になったりすると、重要な寸法制御が失われ、生産が停止してしまいます。ASMLのリソグラフィーランプの予備部品は、ソフトベイクやハードベイクの過程でも熱的条件を安定させるように設計されて...