無駄な熱の浪費をやめよう：なぜ金メッキされた反射器が重要なのか ウェーハ処理においてIRランプを使用している場合、高品質な反射器を使わないと、実質的に出力の半分が無駄になってしまいます。これは単純な問題です。ランプはどちらの方向にもエネルギーを放出します。その余分な熱をウェーハの方に戻す手段がなけ...

実際に重要な場所により多くの熱を与える：金メッキされたIRエミッター 半導体ウェハを扱っている人なら、エネルギーの無駄遣いが単なるコストの問題ではなく、大きな悩みであることを知っています。IRエミッターを使うと、発生した熱の大部分が後方に逃げてしまい、目的の場所には届かず、工程に何の役にも立ちませ...

リソグラフィーフロアにおいて、ソフトベイクとハードベイクの段階でフォトレジストのパターンが決定されます。2°Cの温度変動だけで、Ttopの値は20nmも変わってしまいます。このような変動が、ワーク全体にわたって線幅のばらつきとして現れます。したがって、測定可能で、再現性があり、追跡可能な温度制御が...