왜 우리는 IR 램프에 금을 도포할까요?
반도체 공장에서는 적절한 가열 및 경화 온도를 맞추는 것이 매우 중요합니다. 하지만 솔직히 말해, 물체를 가열하는 것은 엄청난 양의 에너지가 낭비되는 행위입니다. 바로 이럴 때 우리가 사용하는 것이 금으로 코팅된 단파 적외선 램프입니다.
금이 실제로 어떻게 작용하는가?
일반적인 석영 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 그러나 웨이퍼에는 아무런 도움이 되지 않습니다. 이는 에너지의 낭비입니다.
그래서 우리는 램프의 뒷면에 얇은 금층을 도포합니다. 이렇게 하면 램프의 뒷면이 거울처럼 작동하여 적외선 에너지를 앞쪽으로 반사시킵니다. 그 결과, 필요한 곳에만 집중된 열이 전달됩니다. 에너지가 집중되기 때문에, 더 낮은 전력으로도 목표 온도를 달성할 수 있습니다. 정말 효율적인 방법입니다.
탄소 발자국 줄이기
대부분의 “친환경 공장” 관련 목표들은 귀찮은 일처럼 보이지만, 이 경우는 상호 이익이 됩니다.
이 램프들은 빠르게 가열되며, 작동할 때 소모되는 전력도 적습니다. 열이 방 안으로 퍼지지 않으므로, HVAC 시스템도 과도하게 작동할 필요가 없습니다.
낭비되는 열이 적어지면, 각 주기당 소비되는 에너지도 줄어듭니다. 간단하죠.
단점도 있습니다…
물론, 이것도 마법의 지팡이는 아닙니다. 집중된 열은 매우 강력하기 때문에 주의가 필요합니다.
웨이퍼들 사이의 간격이 조금만 벌어져도 과열될 위험이 있습니다. 따라서 PID 컨트롤러와 센서가 빠른 가열 속도에 맞게 조정되어 있어야 합니다. 그렇지 않으면 목표 온도를 초과할 수도 있습니다.
또 한 가지, 램프를 깨끗하게 유지해야 합니다. 금 표면에 지문이나 오염물이 생기면 반사율이 떨어지고 효율도 저하됩니다. 그러면 다시 에너지가 낭비됩니다. 램프를 잘 관리해주면, 그것들이 제 역할을 해줄 것입니다.