도구의 벽면을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해보세요.
대부분의 표준 가열 소자들은 에너지를 모든 방향으로 방출합니다. 웨이퍼 가공 장비에서는 이것이 큰 문제가 됩니다.
생각해보세요: 그 열 중 대부분은 웨이퍼에 전혀 닿지 않습니다. 그 열은 단지 장비의 내벽으로 스며들 뿐입니다. 결국 “뜨거운 벽면”이 생기고, 이는 에너지의 낭비입니다. 게다가 안전상의 문제도 있습니다. 누구도 기계 내부에 손을 넣다가 화상을 입는 일을 원하지 않습니다.
열을 제어하는 방법
우리는 방향성 적외선 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다. 그냥 석영관만 사용하는 대신, 반사판과 특수 코팅을 사용하여 열을 정확하게 필요한 곳으로 보냅니다.
빛의 범위를 좁힘으로써, 열은 웨이퍼 표면에만 닿고 거기서 멈춥니다. 장비의 내부로는 열이 스며들지 않습니다.
만약 장비의 외부가 너무 뜨거워져서 만질 수 없다면, 램프가 너무 넓은 범위로 열을 방출하고 있는 것입니다. 이는 열이 밖으로 빠져나가고 있다는 명백한 신호입니다.
관리가 어려운 점
이 방식은 “설정해놓고 잊어버리는” 방식이 아닙니다. 방향성 가열은 매우 섬세합니다.
램프가 몇 밀리미터만큼이라도 움직이면, 웨이퍼에는 차가운 부분이 생깁니다. 정말 섬세한 작업입니다.
게다가 반사판도 주의 깊게 관리해야 합니다. 시간이 지나면 반사판이 산화되거나 더러워집니다. 그러면 빛의 범위가 다시 넓어지고, 벽면의 온도도 다시 상승합니다.
더 안전하고 편리하게 만드는 방법
이러한 시스템의 가장 큰 장점은 냉각 팬의 부담을 줄일 수 있다는 것입니다. 내부 공간에 엄청난 양의 열이 들어가지 않으므로, 공기도 훨씬 더 시원하게 유지됩니다.
저는 항상 이러한 램프와 함께 고정밀 센서를 사용할 것을 권장합니다. 이 센서들은 웨이퍼 주변의 공기뿐만 아니라 웨이퍼 표면 자체를 감시합니다.
이렇게 하면 내부가 시원하게 유지되면서도, 공정에 필요한 정확한 온도 프로필을 얻을 수 있습니다. 간단합니다.