MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 더 효율적으로 건조시키는 방법 (에너지 낭비 없이) 솔직히 말해서, 전통적인 MEMS 웨이퍼 건조 방식은 매우 비효율적입니다. 대류 오븐을 사용하든 회전식 건조기를 사용하든, 결국 엄청난 양의 에너지가 낭비됩니다. 속도도 느리고, 에너지 소모도 많으...