Mengapa kita beralih kepada lampu inframerah yang tahan air untuk proses pengeringan semikonduktor
Dalam proses pembilasan di fasiliti pengeluaran semikonduktor, tujuan utamanya adalah untuk menghilangkan kelembapan dari permukaan wafer dengan cepat, tanpa meninggalkan sebarang kotoran.
Selama ini, orang-orang menggunakan kaedah pemanasan udara konvektif. Namun, sebenarnya cara ini membuang-buang tenaga. Ia memerlukan masa yang lama, peralatan yang besar, dan juga menyebabkan pembaziran tenaga. Itulah sebabnya kita beralih kepada lampu inframerah yang tahan air. Ini merupakan cara yang lebih efisien untuk melakukan proses pengeringan tersebut.
Rahsianya terletak pada kepadatan haba
Kita menggunakan lampu berfrekuensi tinggi kerana ia tidak mempengaruhi udara di sekelilingnya. Energi dari lampu ini akan sampai terus ke permukaan wafer. Hasilnya, tidak perlu menunggu udara menjadi panas terlebih dahulu. Lampu jenis ini dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam beberapa saat sahaja. Sangat cepat. Dan kerana lampu ini dapat mencapai suhu yang tinggi dengan cepat, kita tidak perlu membiarkan mesin beroperasi pada kuasa maksimum ketika tidak digunakan.
Menghadapi masalah kelembapan
Lingkungan tempat proses pembilasan berlaku merupakan tempat yang lembap. Jika kita gunakan lampu inframerah biasa, ia akan rosak atau teroksida dengan cepat. Ini tentu bukan hal yang baik.
Untuk mengelakkan hal ini, kita perlu menutup elektrod lampu tersebut dan menggunakan pelindung khusus agar kelembapan tidak masuk ke dalamnya. Dengan cara ini, lampu tersebut tidak akan rosak walaupun keadaan sekitar lembap atau ada percikan air yang mengenainya.
Namun, ada satu masalah: kita tidak boleh sekadar membungkus lampu tersebut dengan plastik saja. Kita perlu memastikan bahawa penutup tersebut tidak menghalang aliran haba. Lapisan pelindung tersebut boleh mengubah spektrum cahaya sedikit, jadi kita perlu meluangkan masa untuk menyesuaikan panjang gelombang cahaya tersebut. Kita ingin agar energi cahaya dapat menembusi lapisan air di permukaan wafer tanpa merosakkan substrat tersebut.
Membuat kilang menjadi lebih mesra alam
Dengan menggantikan oven konvektif dengan lampu inframerah, kita dapat mengurangkan penggunaan tenaga. Kita tidak perlu lagi menggunakan pam udara yang besar dan saluran udara yang rumit. Dengan begitu, penggunaan tenaga akan berkurangan.
Namun, ada satu perkara yang perlu diperhatikan. Jika anda ingin menggantikan pengering udara biasa dengan lampu inframerah, jangan sekadar menyambungkannya ke sumber kuasa dan berharap semuanya akan berjalan lancar. Lampu ini memerlukan arus listrik yang banyak apabila dihidupkan. Anda mungkin perlu memeriksa kabelnya dan mungkin juga menaik taraf pemutus kuasa agar sistem tidak terhenti setiap kali proses pemanasan dimulakan.