Op de productielijn geldt hetzelfde principe als altijd: zelfs een verschil van maar 0,2°C in de temperatuur tijdens het verhitten van de fotorezerve kan leiden tot afwijkingen in de cruciale dimensies en daardoor tot problemen met de kwaliteit van het product. Hier komen de infraroodverwarmers in de vacuümkamer van pas – precies op de plekken waar geleiding en convectie beperkt zijn, onder lage druk, tijdens het zachte en harde verhitten, en tijdens de thermische behandeling van de wafer.
Wat belangrijk is Wij bouwen deze verwarmer rondom kortegolfgerechtigde infraroodschijnwerpers die zich bevinden in een kwartsomhulling. Hierdoor is de reactietijd kort en blijft de uitgangstemperatuur stabiel. Tijdens het hele procesproces wordt er een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C behaald op niveau van de wafer. De herhaalbaarheid van de temperatuur per cyclus is ≤±0,5°C. Dit zorgt ervoor dat de cruciale dimensies behouden blijven en dat er geen spanningen in de coating ontstaan. Het ontwerp zorgt er bovendien voor dat er geen deeltjes worden geproduceerd, zodat de verwarmer kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100. De controle vindt plaats in een gesloten circuit, met gekalibreerde sensoren die worden aangepast aan de respons van de schijnwerpers – niet op basis van de temperatuur van de wanden van de kamer.
Waarom dit werkt Bij lithografie is het nodig om herhaalbare verhittingsprocessen te hebben om de viscositeit van de stoffen te bepalen. Ook moet het mogelijk zijn om het patroon vast te leggen door middel van hard verhitten. Bij verpakkingen is het belangrijk om betrouwbare thermische profielen te hebben voor het vullen van gaten en het smelten van materialen – zonder dat er gassen vrijkomen. Onze infraroodverwarmer kan 24/7 worden gebruikt in de productie, zonder onverwachte stilstand. De energieverbruik blijft binnen de vereisten, waardoor er minder herwerkingsprocessen nodig zijn en de specificaties nauwkeuriger kunnen worden nageleefd. Daarnaast kunnen de onderhoudstijden beter worden gepland.
Enkele praktische tips Deze verwarmer vereisen een precieze alignering binnen de kamer en een zuivere energiestroom om de spectrale stabiliteit te behouden. Ze kunnen worden geïntegreerd in standaard vacuümfittings en gereedschappen. Echter, bij integratie moet rekening worden gehouden met de thermische massa en het beschermingsniveau – anders kan er sprake zijn van hete punten op nabijgelegen componenten. Plan een kort proefperiode in om de emissiviteit te bepalen en de PID-instellingen af te stemmen op de geometrie van uw kamer.