Waarom we overstapten op waterdichte infrarode lampen voor het drogen van halfgeleiders
Tijdens het spoelen van halfgeleiders moet er snel vocht van het wafer worden verwijderd, zonder dat er ook maar één vlek vuil achterblijft.
Lang gebruikten alle bedrijven gewone hete luchtkokers om dit te bereiken. Maar eerlijk gezegd is het verspillend om zoveel lucht op te warmen. Het duurt lang, het vereist veel ruimte en het kost veel energie. Daarom zijn we overgestapt op waterdichte infrarode lampen. Dit is een veel efficiëntere manier van werken.
Het geheim zit in de hittedichtheid
We gebruiken lampen met hoge intensiteit en korte golflengten. Ze sturen de energie rechtstreeks naar het oppervlak van het wafer. Het resultaat? Geen wachttijd meer tot de lucht opgewarmd is. De kwartsbuizen bereiken hun doeltemperatuur in seconden. Het is dus erg snel. En omdat ze zo snel opwarmen, hoeft de machine niet continu op volle kracht te draaien terwijl hij stilstaat.
Omgaan met het ‘vochtige’ deel van het proces
Spoelomgevingen zijn per definitie vochtig. Als je een gewone infrarode lamp gebruikt, zal deze vrijwel meteen kapotgaan of oxideren. Dat ziet er natuurlijk niet goed uit.
Om dit te voorkomen, sluiten we de elektroden af en gebruiken we speciale kwartskokers om het vocht buiten te houden. Hierdoor gaan de lampen niet kapot wanneer het vochtig wordt of wanneer er spray op terechtkomt.
Maar er is één probleem: je kunt een lamp niet zomaar in plastic wikkelen en klaar zijn. Je moet de dichtheid van het materiaal afstemmen op de manier waarop de hitte kan ontsnappen. Het coating kan namelijk het lichtspectrum iets veranderen. Daarom besteden we veel tijd aan het kalibreren van de golflengte. We willen dat de energie door het waterlaagje op het wafer heen komt, zonder dat het ondergrondmateriaal beschadigt wordt.
Het bedrijf wat milieuvriendelijker maken
Het vervangen van de conventionele ovens heeft een grote invloed op de efficiëntie van het bedrijf. Je hoeft geen enorme blazers of complexe luchtkanalen meer te gebruiken. Met minder apparatuur wordt er minder energie verbruikt. Het maakt de hele setup dus efficiënter.
Eén belangrijk punt: als je van plan bent een oude luchtdroger te vervangen door infrarode lampen, moet je ze niet zomaar aansluiten en hopen op het beste. Deze lampen gebruiken veel stroom zodra ze worden aangezet. Het is waarschijnlijk nodig om je bedrading te controleren en je bekabeling bij te werken, zodat de stroomtoevoer niet steeds wordt onderbroken wanneer de lampen worden aangezet.