Pare de perder tempo: por que o uso de lâmpadas infravermelhas sem ozônio é a melhor solução para o processamento semielétrico
Vamos falar sobre esse processo de espera.
Se você usa convectão de ar forçado, sabe exatamente o que quero dizer. Na verdade, você está aquecendo uma grande quantidade de ar apenas para que esse calor chegue ao substrato. É um processo lento. Você passa minutos esperando que o ar esquente, e depois mais minutos esperando que o substrato absorva esse calor. Isso acaba atrasando todo o processo.
Nós fazemos as coisas de maneira diferente. Usamos lâmpadas infravermelhas sem ozônio. Em vez de aquecer o ar, transferimos o calor por meio de radiação.
É direto.
As lâmpadas infravermelhas emitem ondas eletromagnéticas que atingem diretamente o alvo. Não há intermediários. Não há necessidade de esperar que o ar esquente. O tempo necessário para iniciar o processo diminui de minutos para segundos. Em fábricas que produzem grandes volumes de produtos, esses segundos economizados somam-se rapidamente. Assim, é possível processar mais wafers sem precisar construir fábricas maiores.
Mas há um problema com as lâmpadas infravermelhas convencionais. A maioria delas emite luz ultravioleta, e, em um ambiente semielétrico, isso gera ozônio. Isso é um problema. O ozônio é um contaminante que pode danificar camadas orgânicas ou oxidar superfícies que precisam permanecer intactas.
Para resolver esse problema, usamos filamentos filtrados e invólucros de quartzo especiais. Eles bloqueiam os comprimentos de onda ultravioleta que causam a produção de ozônio. O melhor de tudo é que não é preciso se preocupar com sistemas dispendiosos de eliminação de ozônio.
Agora, quero ser honesto sobre os custos-benefícios.
O aquecimento por radiação infravermelha consome muita energia. Se você optar por lâmpadas de alta potência para reduzir ainda mais o tempo de processamento, certifique-se de que sua instalação elétrica possa suportar esses picos de consumo. Você não quer que o disjuntor trave no meio do processo.
Além disso, lembre-se de que a radiação é direcional. O ar quente envolve o componente como um cobertor, mas a radiação infravermelha funciona mais como uma lanterna. Se as lâmpadas não estiverem posicionadas corretamente, haverá pontos frios. Você precisará dedicar algum tempo para mapear o perfil térmico, para garantir que tudo seja aquecido uniformemente.
A maioria das fábricas já está abandonando os fornos lentos em favor de lâmpadas infravermelhas sem ozônio. É uma substituição simples para o sistema de aquecimento, e ela faz algo realmente bem: elimina o tempo de inatividade entre as etapas do processo.