Прекратите терять время: почему инфракрасное излучение без озона – лучший вариант для полупроводниковой обработки
Давайте поговорим о необходимости ожидания. Если вы используете систему принудительной конвекции, вы прекрасно понимаете, что я имею в виду. По сути, вы нагреваете огромное количество воздуха, чтобы этот жар дошел до вашего обрабатываемого материала. Это медленный процесс: приходится тратить минуты на нагрев воздуха, а затем еще больше времени на то, чтобы материал успел впитать тепло. Это сильно замедляет процесс обработки.
Мы же используем инфракрасные лампы без озона. Вместо нагрева воздуха мы передаем тепло с помощью излучения. Это гораздо эффективнее. Инфракрасные лампы излучают электромагнитные волны, которые сразу же достигают цели. Нет необходимости ждать, пока воздух нагреется. Время подготовки сокращается с минут до секунд. Когда вы работаете в больших объемах, эти сэкономленные секунды суммируются очень быстро. Вы можете обработать больше пластин, не строя новый завод.
Но у стандартных инфракрасных ламп есть недостаток: большинство из них излучают ультрафиолетовое светло, что приводит к образованию озона. Это проблема – озон является загрязнителем; он может разрушать органические слои или окислять поверхности, которые должны оставаться нетронутыми. Чтобы избежать этого, мы используем фильтры и специальные кварцевые корпуса. Они блокируют ультрафиолетовые волны, вызывающие образование озона. Самое лучшее – это то, что вам больше не нужно беспокоиться о дорогих системах очистки воздуха.
Но нужно быть честным относительно недостатков. Высокая интенсивность излучения требует большой мощности. Если вы используете лампы с высокой мощностью, чтобы сократить время обработки, убедитесь, что ваша электросистема сможет справиться с таким напряжением. Не стоит допускать отключения электроэнергии во время процесса обработки.
Кроме того, помните, что излучение имеет определенное направление. Горячий воздух обволакивает объект, как одеяло, а инфракрасное излучение действует как фонарик. Если лампы расположены некорректно, возникают «холодные зоны». Необходимо потратить время на анализ теплового режима, чтобы все равномерно нагревалось.
Большинство производств уже отказались от медленных печей в пользу инфракрасных ламп без озона. Это простая замена для системы нагрева, которая делает одну вещь очень хорошо – устраняет время ожидания между этапами обработки.