На этапе литографии процесс приготовления фотополимера протекает в два этапа: мягкое и жесткое запекание. Изменение температуры на 2°C может привести к изменению параметров фотополимера на 20 нм. Это означает, что ширина линий на пластине будет меняться. Необходим контроль температуры, который позволяет измерять её, повторять измерения и отслеживать изменения.
Что действительно важно Мы создали точный инфракрасный датчик, используя стабильный излучатель в диапазоне ближнего инфракрасного света и калиброванный детектор. Благодаря этому температурное распределение на пластине сохраняется в пределах ±0,1°C во время процесса запекания. Датчик может помещаться в узкие отверстия печи, а оптика защищена от выделения газов, что обеспечивает стабильные показатели в чистых помещениях класса 1–100. Отсутствие образования частиц достигается за счет отказа от использования вращающихся элементов и сохранения фиксированной конфигурации установки. Повторяемость показаний датчика составляет 0,1%, что позволяет проводить длительные процессы без необходимости перекалибровки.
Почему это важно для печей для запекания При процессе запекания фотополимера требуется строгое соблюдение температурных параметров. Этот датчик обеспечивает постоянство температуры на всей поверхности пластины, что позволяет точнее контролировать размеры деталей и сокращать количество необходимых корректировок. Это также позволяет расширить диапазон температур без снижения производительности, а количество браков снижается благодаря своевременному выявлению отклонений. Стабильность оборудования также улучшается – weniger ложных сигналов и необходимостей в вмешательстве. В результате повышается производительность и возможность планирования времени выполнения задач.
Что необходимо сделать правильно Установка датчика заключается в соответствии его размеров с размерами отверстий печи и настройке параметров эмиссивности фотополимера. Если это сделать неправильно, показания датчика будут неточными. Мы поставляем кит со средствами калибровки, подходящими для распространенных типов фотополимеров, но для новых типов фотополимеров может потребоваться дополнительная калибровка. Необходимо провести кратковременную остановку производства для подключения датчика к контроллеру печи и настройки пути прохождения луча. После этого система будет работать с минимальным количеством технического обслуживания.