Как сохранять температуру пластин при их транспортировке: правда о использовании инфракрасного обогрева
Если вы когда-либо работали на производстве полупроводников, вы знаете, какие сложности возникают при транспортировке пластин. Необходимо постоянно поддерживать стабильную температуру в процессе перемещения материала. Один неверный шаг может привести к тепловому удару или загрязнению пластин, что в свою очередь снижает эффективность производства.
Долгое время мы использовали конвекционные печи для обогрева. Но будем честны: они неэффективны и потребляют много энергии. Если мы действительно хотим достичь углеродной нейтральности, нам нужно перестать нагревать воздух и начать нагревать саму пластину. Именно здесь и приходит на помощь коротковолновый инфракрасный обогрев.
Обогрев там, где это действительно важно
Преимущество коротковолнового инфракрасного излучения заключается в его прямом действии. Энергия попадает на поверхность пластины и остается там. Она не распространяется по окружающему воздуху, поэтому система климат-контроля не должна постоянно работать на охлаждение помещения во время обогрева пластин.
Кроме того, этот метод обогрева очень быстрый. Вы можете сразу начать процесс обогрева, без необходимости ждать, пока печь нагреется.
Технические детали
В чистой комнате нельзя использовать любые доступные материалы. Мы используем кварцевые трубки высокой чистоты — у них нет недостатков. Обычные материалы разрушаются или испускают газы, а в наших условиях даже одна пылинка может стать причиной серьезных проблем.
Мы также покрываем лампы специальным слоем, чтобы изменить спектр излучения. Это позволяет сосредоточить тепло именно на пластине, а не на корпусе тележки.
Кроме того, поскольку лампы могут выходить из строя, мы используем стандартные разъемы. Когда лампа выходит из строя, техники могут просто заменить ее. Не нужно перепрофилировывать всю конструкцию или вызывать специалиста. Все работает просто.
Один недостаток
У всего этого есть свои недостатки. Большая плотность энергии требует наличия надежной изоляции. Если корпус тележки плохо изолирован, тепло будет проникать внутрь конструкции. Это может привести к деформации корпуса или срабатыванию сигнализации в чистой комнате в 3 часа ночи. Необходимо найти оптимальное сочетание мощности и способности корпуса тележки выдерживать такую нагрузку.