ในขั้นตอนการพิมพ์บนแผ่นวัสดุที่ใช้ในการผลิต การอบแผ่นวัสดุด้วยความร้อนในระดับต่ำและระดับสูงนั้นมีบทบาทสำคัญในการกำหนดลักษณะของฟอโตเรซิสต์ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2°C ก็สามารถทำให้ค่า Ttop เปลี่ยนไปได้ถึง 20 นาโนเมตร ซึ่งส่งผลให้เกิดความแปรปรวนในความกว้างของเส้นที่ได้จากการพิมพ์ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่สามารถวัดค่าได้อย่างแม่นยำ และสามารถทำการวัดซ้ำได้
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราได้สร้างเซ็นเซอร์อินฟราเรดที่มีความแม่นยำสูงขึ้นมา โดยใช้เครื่องกำเนิดแสง NIR ที่มีความเสถียร และเครื่องตรวจจับที่ได้รับการปรับแต่งมาแล้ว ด้วยวิธีนี้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นวัสดุจะอยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดกระบวนการอบ หัวเซ็นเซอร์สามารถเข้าไปในช่องอบที่มีขนาดแคบได้ และโครงสร้างของเซ็นเซอร์ก็ถูกออกแบบมาให้ป้องกันไม่ให้มีก๊าซรั่วออกมา ซึ่งช่วยให้ค่าที่วัดได้มีความสม่ำเสมอในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ 1–100 การไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นนั้นไม่ใช่เพียงแค่คำพูดเท่านั้น แต่เกิดจากการไม่มีชิ้นส่วนที่หมุนได้ และการจัดวางแสงให้อยู่ในตำแหน่งที่แน่นอน ความสามารถในการวัดซ้ำจะอยู่ในช่วง 0.1% ตลอดเวลา ดังนั้นจึงสามารถทำการผลิตได้โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอุปกรณ์อีก
เหตุผลที่เซ็นเซอร์นี้เหมาะสำหรับการใช้ในเตาอบ
การอบแผ่นวัสดุด้วยฟอโตเรซิสต์นั้นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด เซ็นเซอร์นี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของแผ่นวัสดุได้ดีขึ้น และลดจำนวนแผ่นวัสดุที่ต้องทำการแก้ไข นอกจากนี้ ยังช่วยให้สามารถขยายช่วงเวลาการผลิตได้โดยไม่ส่งผลต่อประสิทธิภาพการผลิต และลดปริมาณวัสดุที่ต้องทิ้ง เพราะค่าที่วัดได้จะถูกรายงานทันทีเมื่อมีความผิดปกติเกิดขึ้น ความเสถียรของอุปกรณ์ก็ดีขึ้นด้วย มีการแจ้งเตือนที่ไม่จำเป็นน้อยลง และไม่มีการหยุดการทำงานโดยไม่คาดคิด ผลลัพธ์ก็คืออัตราการผลิตที่สูงขึ้น และสามารถวางแผนเวลาการผลิตได้อย่างแม่นยำ
สิ่งที่จำเป็นต้องทำให้ถูกต้อง
การติดตั้งเซ็นเซอร์นั้นต้องทำให้มั่นใจว่าขนาดของช่องอบและค่าการแผ่รังสีของฟอโตเรซิสต์นั้นเหมาะสม หากไม่ทำเช่นนั้น ค่าที่วัดได้ก็จะผิดเพี้ยน เรามีชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งเซ็นเซอร์สำหรับฟิล์มที่ใช้กันทั่วไป แต่สำหรับฟิล์มชนิดใหม่ๆ อาจจำเป็นต้องมีการปรับแต่งเซ็นเซอร์เพิ่มเติม ควรมีการหยุดการผลิตชั่วคราวเพื่อเชื่อมต่อเซ็นเซอร์เข้ากับตัวควบคุมเตาอบ และปรับตำแหน่งของแสงให้เหมาะสม เมื่อทำเสร็จแล้ว ระบบก็จะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยแทบไม่ต้องมีการบำรุงรักษาเลย