ในห้องปฏิบัติการผลิตชิปนั้น คุณก็รู้ดีว่ามีข้อกำหนดที่เข้มงวดมาก แค่อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียง 0.2°C เท่านั้น ก็อาจส่งผลให้มีการเปลี่ยนแปลงในขนาดสำคัญของชิปได้ ซึ่งจะส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง นี่คือเหตุผลว่าทำไมเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในห้องสุญญากาศจึงมีความสำคัญมาก โดยเฉพาะในช่วงที่มีการทำความร้อนในสภาพความดันต่ำ ไม่ว่าจะเป็นการทำความร้อนแบบอ่อนหรือแบบแข็ง หรือในขั้นตอนการปรับอุณหภูมิของชิป
สิ่งที่สำคัญในการออกแบบเครื่องทำความร้อน เราออกแบบเครื่องทำความร้อนเหล่านี้โดยใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดคลื่นสั้นที่อยู่ภายในฝาครอบสเตนนีส ซึ่งช่วยให้การตอบสนองของเครื่องทำความร้อนรวดเร็ว และอุณหภูมิที่ได้ก็คงที่ ในช่วงกระบวนการผลิต อุณหภูมิของชิปจะอยู่ในช่วง ±0.1°C ส่วนความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างแต่ละรอบการผลิตนั้นอยู่ที่ ≤±0.5°C ซึ่งช่วยรักษาขนาดสำคัญของชิปไว้ นอกจากนี้ การออกแบบนี้ยังช่วยให้ไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ขึ้นมา ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 ได้อย่างสมบูรณ์ การควบคุมอุณหภูมินั้นทำได้อย่างแม่นยำ โดยใช้เซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง แทนที่จะใช้อุณหภูมิผนังห้องเป็นตัวกำหนด
เหตุผลที่เครื่องทำความร้อนนี้มีประสิทธิภาพ ในกระบวนการผลิตชิป จำเป็นต้องมีการทำความร้อนแบบอ่อนเพื่อปรับความหนืดของวัสดุ และการทำความร้อนแบบแข็งเพื่อยึดรูปร่างของชิปไว้ ส่วนในกระบวนการบรรจุภัณฑ์ ก็จำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ เพื่อให้วัสดุสามารถหลอมละลายได้อย่างเหมาะสม โดยไม่มีการปล่อยก๊าซออกมา เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในห้องสุญญากาศของเราสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้วางแผนไว้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็อยู่ในระดับที่เหมาะสม โดยมีการเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และมีการใช้พลังงานต่อหน่วยผลิตที่น้อยลง ซึ่งหมายความว่าจะมีการต้องทำชิปใหม่น้อยลง มีข้อกำหนดที่เข้มงวดมากขึ้น และสามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้อย่างชัดเจน
ข้อควรระวังในการใช้งาน เครื่องทำความร้อนเหล่านี้ต้องการการจัดวางในห้องสุญญากาศอย่างแม่นยำ และต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่สะอาด เพื่อรักษาความเสถียรของอุณหภูมิ นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนเหล่านี้ยังสามารถเชื่อมต่อกับอุปกรณ์มาตรฐานในห้องสุญญากาศได้ แต่การติดตั้งจำเป็นต้องคำนึงถึงปัจจัยด้านความร้อนและการป้องกันความร้อนด้วย มิฉะนั้นอาจทำให้เกิดจุดร้อนบนอุปกรณ์อื่นๆ ได้ ควรมีการทดสอบเครื่องทำความร้อนก่อนการใช้งานจริง เพื่อปรับค่าการแผ่รังสีและตั้งค่า PID ให้เหมาะสมกับโครงสร้างของห้องสุญญากาศของคุณ