Litografi sürecinde, foto direnç profillerinin belirlendiği yerler “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” aşamalarıdır. 2°C’lik bir sıcaklık değişimi, Ttop değerini 20 nm kadar değiştirebilir ve bu durum da üretilen ürünlerin kenar genişliklerinde farklılıklara neden olur. Ölçülebilen, tekrarlanabilen ve izlenebilen bir sıcaklık kontrolü gereklidir.
Önemli olan şeyler
Yüksek hassasiyetli IR sensörümüzü, stabil bir NIR verici ve kalibre edilmiş bir dedektör üzerine kurduk. Böylece pişirme işlemi sırasında waferin termal düzenliliği ±0,1°C aralığında korunur. Sensör başlığı, dar fırın penceresinden geçebilir ve optik bileşenler gaz sızıntısına karşı korunmuştur; bu sayede Class 1–100 temiz odalarında ölçümler tutarlı kalır. Sıfır partikül üretimi sadece bir iddia değildir; bu durum, dönen parçaların kullanılmaması ve sabit bir hizalama yolunun sağlanmasıyla mümkün olur. Çıkışların tekrarlanabilirliği 24 saat boyunca %0,1 civarında kalır; böylece uzun süreli işlemler yeniden kalibrasyon olmadan gerçekleştirilebilir.
Neden fırınlarda kullanılır?
Foto dirençlerin pişirilmesi sırasında sıkı termal kontroller gereklidir. Bu sensör, wafer genelinde sabit bir sıcaklık sağlar; böylece kritik boyut kontrolü daha iyi yapılır ve yeniden işleme ihtiyacı azalır. İşlem aralığı genişletilebilir ve verimlilik kaybolmaz; ayrıca anormallikler hemen tespit edildiğinden atık miktarı azalır. Ekipmanın istikrarı da artar; yanlış uyarılar ve plansız müdahaleler azalır. Sonuç olarak daha yüksek üretim verimi ve planlanabilir bir işlem süresi elde edilir.
Doğru sonuçlar alabilmek için ne gerekiyor?
Kurulum, fırının açıklığının uyumlu hale getirilmesi ve foto direnç tabakasının emisivitesinin ayarlanmasıyla ilgilidir. Bunlar doğru yapılmadığında ölçümler yanlış olur. Yaygın filmler için önceden kalibre edilmiş bir kalibrasyon kiti gönderiyoruz; ancak yeni tabakalar için tek seferlik bir kalifikasyon gerekli olabilir. Sensörü fırın kontrol cihazına bağlamak ve ışın yolunu hizalamak için kısa bir duraklama yapılmalıdır. Bir kez ayarlandıktan sonra sistem minimal bakım gerektirerek çalışır.