Yarı iletkenlerin kurutulması için neden su geçirmez kızılötesi lambalar kullanıyoruz?
Yarı iletken üretiminin durulama aşamasında tek amacınız vardır: Wafer üzerindeki nemin hızla giderilmesi ve hiçbir kirlilik kalıntısının bırakılmaması.
Uzun süre boyunca herkes sadece sıcak hava kullanarak bu işlemi yapıyordu. Ama dürüst olmak gerekirse, büyük miktarda havayı ısıtmak gereksizdir. Bu yöntem yavaştır, aynı zamanda enerji tüketimi de çok fazladır. İşte bu yüzden su geçirmez kızılötesi lambalara geçtik. Bu yöntem çok daha etkili bir çözümdür.
Sır, ısı yoğunluğunda yatıyor
Yüksek yoğunluklu kısa dalga lambalar kullanıyoruz; çünkü bunlar havayı etkilemez ve enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine gönderirler. Sonuç olarak, havanın ısınmasını beklemek zorunda kalmazsınız. Bu kuvars tüpleri saniyeler içinde istenen sıcaklığa ulaşır. Gerçekten çok hızlıdır. Ayrıca, bu lambalar bu kadar hızlı ısındığı için, makinenin boşta iken de sürekli çalışmasına gerek kalmaz.
“Islak” ortamlarla başa çıkma
Durulama işlemleri gereği ortam zaten ıslaktır. Eğer buraya standart bir kızılötesi lamba yerleştirirseniz, lamba hemen bozulur veya okside olur. Bu pek iyi bir durum değildir.
Bunu engellemek için elektrotları mühürleyip, nemin içeri girmesini önlemek için özel kuvars kaplamalar kullanıyoruz. Böylece nemli ortamlarda veya rastgele püsküren suların etkisiyle lambaların yanmasını önleyebiliriz.
Ancak burada dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Lambayı sadece plastikle kaplayıp işi bitiremezsiniz. Isının nasıl dışarı çıktığını da göz önünde bulundurmalısınız. Bu kaplama aslında ışık spektrumunu biraz değiştirebilir; bu yüzden dalga boyunu ayarlamak için çok zaman harcıyoruz. Enerjinin wafer üzerindeki su tabakasından geçmesini sağlamak istiyoruz, ancak substratın zarar görmemesi gerekiyor.
Fabrikanın daha yeşil olmasını sağlama
Konveksiyon fırınlarını kullanmayı bırakmak, fabrikanın daha verimli çalışmasını sağlar. Devasa fanları ve karmaşık boru sistemlerini ortadan kaldırabilirsiniz. Daha az donanım demek, daha az enerji tüketimi demektir. Bu sayede tüm sistem daha verimli hale gelir.
Ancak bir uyarı: Eski hava kurutucularını kızılötesi lambalarla değiştirmeyi planlıyorsanız, sadece cihazı bağlayıp işin yolunda gitmesini ummayın. Bu lambalar çalışmaya başladıkları anda çok fazla elektrik çekerler. Muhtemelen kablolarınızı kontrol etmeniz ve aşırı ısınma durumlarında devre kesicilerinizi güncellemeniz gerekecektir.