На поверсі заводу з виробництва пластин діаметром 300 мм процедура „м’якого нагрівання“ не є просто способом попереднього нагрівання. Це перший крок у контролі критичних розмірів пластини. Зміна температури на 2°C може призвести до зміни значень критичних розмірів на кілька нанометрів, що, у свою чергу, може вплинути на всю партію продукції. Елемент нагріву мусить зберігати теплову стабільність з такою ж точністю, як і оптика сканера.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми розробили елемент нагріву для процедури „м’якого нагрівання“, орієнтуючись на одну ключову характеристику – однорідність температури на всій площі пластини ±0,1°C. Для цього використовується галогенна лампа короткої довжини хвилі, розташована всередині кварцової оболонки високої чистоти. Це забезпечує швидку реакцію елемента нагріву з мінімальною тепловою інерцією. Це дозволяє підтримувати стабільний профіль нагрівання, що, у свою чергу, сприяє ефективному видаленню розчинника фоторезисту без перевищення допустимих значень.
Пристрій призначений для використання в чистих приміщеннях класу 1–100. Матеріали, з яких він виготовлений, підбираються так, щоб під час роботи та заміни ламп не виникало жодних частинок. Повторюваність результатів становить ≤0,05°C, що дозволяє підтримувати стабільність ширини ліній та якості продукції.
Чому цей елемент підходить для використання в літографічних установках
Необхідно, щоб процедура нагрівання відбувалась з такою швидкістю, яка відповідає темпам роботи установки, без зниження якості продукції. Елемент нагріву досягає потрібної температури за кілька секунд, тож час очікування між обробкою окремих пластин зменшується. Його низька маса зменшує тепловий зв’язок з камерою, що дозволяє підтримувати стабільний профіль нагрівання.
Це сприяє прогнозованій поведінці фоторезисту, меншій кількості необхідності переробки продукції та стабільному температурному режиму протягом усього циклу виробництва. Крім того, точне контролювання температури дозволяє уникнути зайвої компенсації, що сприяє економії енергії.
Що потрібно враховувати
Елемент нагріву потребує інтерфейсу кріплення, сумісного з умовами чистих приміщень, а також каліброваного датчика температури, що відповідає спектру випромінювання лампи. Необхідно також переконатися, що напруга живлення відповідає номінальним значенням, а також що контролер може ефективно керувати роботою лампи.
Заміну лампи слід розглядати як частину профілактичного обслуговування. Лампи мають тривалий термін служби, але коли вони виходять з ладу, це відбувається раптово. Під час роботи з кварцовою оболонкою необхідно дотримуватися правил протидії статичному електричному заряду – інакше пил може потрапити всередину оболонки.