Чому ми перейшли на водонепроникні інфрачервоні лампи для сушіння напівпровідників
На етапі промивання напівпровідникових пластин у нас є одна основна мета – якомога швидше позбутися вологи з поверхні пластини, не залишаючи при цьому жодних слідів бруду.
Довгий час всі використовували конвекційні печі з гарячим повітрям. Але, чесно кажучи, нагрівання великих об’ємів повітря є марною тратою ресурсів. Цей процес є повільним, потребує багато простору та спричиняє значні витрати енергії. Саме тому ми перейшли на водонепроникні інфрачервоні лампи. Це набагато ефективніший спосіб обробки.
Секрет полягає у щільності тепла
Ми використовуємо лампи з високою інтенсивністю короткохвильового світла, адже вони не впливають на повітря навколо. Вони передають енергію безпосередньо на поверхню пластини.
Результат? Не потрібно чекати, поки повітря нагріється. Ці кварцові трубки досягають необхідної температури за кілька секунд. Це дуже швидко. Крім того, оскільки лампи швидко нагріваються, не потрібно тримати пристрій у постійному режимі роботи.
Як працювати з „вологим“ середовищем
Умови промивання, за своєю природою, є вологими. Якщо встановити там звичайну інфрачервону лампу, вона миттєво може зламатися чи окислитися. Це не найкращий варіант.
Щоб уникнути цього, ми герметизуємо електроди та використовуємо спеціальні кварцові корпуси, які запобігають потраплянню вологи всередину. Це допомагає уникнути займання ламп у умовах високої вологості чи при попаданні струменів води на них.
Але є одна складність: неможливо просто загорнути лампу в пластик та все. Потрібно знайти правильний баланс між герметизацією та випаровуванням тепла. Такий покриття може змінити спектр світла, тож ми витрачаємо багато часу на калібрування довжини хвилі. Ми хочемо, щоб енергія проходила крізь водяну плівку на поверхні пластини, не пошкоджуючи саму пластину.
Як зробити завод екологічнішим
Відмова від конвекційних печей значно покращує умови роботи на заводі. Не потрібно використовувати великі вентилятори та складну систему трубопроводів. Менше обладнання означає менше витрат енергії. Це робить весь пристрій більш ефективним.
Однак є одна порада: якщо ви плануєте замінити старий обладнання для сушіння на інфрачервоні лампи, не достатньо просто підключити їх та сподіватися на краще. Ці лампи споживають багато енергії в момент увімкнення. Ймовірно, вам доведеться перевірити електропроводку та, можливо, підвищити потужність автоматичних вимикачів, щоб уникнути перегрузок електромережі під час роботи ламп.