جب بیکنگ پلیٹ، ریسیپی کے مطابق کام نہیں کرتی، تو اس کا احساس فوراً ہی ہو جاتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی سطح میں تغیرات پیدا ہو جاتے ہیں، سی ڈی کی یکسانیت ختم ہو جاتی ہے، اور پروسیس، مطلوبہ نتائج حاصل کرنے کے بجائے غیرضروری عملوں کی طرف مائل ہو جاتا ہے۔ کلین روم میں استعمال ہونے والے آلات کی اپ گریڈنگ صرف ظاہری خوبصورتی کے لئے نہیں، بلکہ حرارتی کنٹرول کو بہتر بنانے، پروسیس کے عمل کو بہتر بنانے، اور آپریشن کے دورانیے کو قابل پیشن گوئی بنانے کے لئے کی جاتی ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم نے اس اپ گریڈنگ کو دہرایے جانے والے حرارتی عملوں کے ارد گرد تیار کیا ہے۔ ہاٹ زون میں ویفر کی سطح پر ±0.1°C کی سطحی یکسانیت حاصل کی جاتی ہے، اور NIR اور میڈیم-ویو انفراریڈ ایمیٹرز کے ذریعہ تیز اور مستحکم حرارتی کنٹرول حاصل کیا جاتا ہے۔ یہ سسٹم کلاس 1–100 کے کلین روموں کے لئے مناسب ہے، اور اسے ذرات کو کم کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے – سیلڈ چیمبرز، HEPA-مطابق ایگزاسٹ روٹنگ، اور ایسے مواد کا استعمال جن سے گیسوں کا اخراج کم ہو۔ “صفر ذرات” صرف ایک نعرہ نہیں، بلکہ یہ ایک ڈیزائنی شرط ہے، جس کی تصدیق ان-سیٹو میٹروولوجی کے ذریعہ کی جاتی ہے۔
24 گھنٹے کے مسلسل آپریشن کے لئے قابل اعتمادی کیسے حاصل کی جاتی ہے؟
ویفر کو خشک کرنے کے عمل میں، کنٹرولڈ حرارت اور لیمینر پرج کے ذریعہ سطحی نقائص کو کم کیا جاتا ہے، اور دوبارہ آلودگی کو روکا جاتا ہے۔ فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں، سافٹ بیک اور ہارڈ بیک پروفائلز کے ذریعہ پروسیس کو کنٹرول کیا جاتا ہے، تاکہ کریٹیکل ڈائمینشنز کو برقرار رکھا جا سکے۔ پیکیجنگ کے عمل میں، حرارتی پروفائل ہر بار دہرایا جاتا ہے، جس سے خالی جگہیں اور تناؤ کم ہو جاتا ہے، اور ویفر کی حفاظت ہوتی ہے۔
فوائد کیا ہیں؟
کم وقت میں کام مکمل ہوتا ہے، ہر ویفر کے لئے کم توانائی درکار ہوتی ہے، اور غیرمتوقع بندشیں کم ہو جاتی ہیں۔
آپ کو کیا جاننے کی ضرورت ہے؟
ریفٹائرنگ کے لئے تعاون ضروری ہے۔ فوٹپرنٹ، پاور، اور کولنٹ کو موجودہ سسٹم کے مطابق ہی رکھنا ضروری ہے، اور SPC لیمٹس کو متعین کرنے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ سیشن ضروری ہے۔ یہ پلیٹ فارم زیادہ تر مین اسٹریم ٹولز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن ریسیپی منتقل کرنے اور ڈیٹا لاگنگ کے دوران کسی بھی مشکل سے بچنے کے لئے سائٹ-اسپیسیفک چیک ضروری ہے۔
کب اسے استعمال کرنا بہتر ہے؟
اسے منصوبہ بند مینٹیننس وقفے کے دوران ہی استعمال کرنا بہتر ہے۔ جب بیکنگ کرور، پروسیس کے مطابق کام کرنے لگتا ہے، تو فوری فوائد حاصل ہوتے ہیں۔