Trong khu vực sản xuất có kích thước 300mm, quá trình nung ấm không phải là bước khởi động thông thường. Đó là bước quan trọng nhằm kiểm soát các yếu tố liên quan đến kích thước của các chi tiết được chế tạo. Sự thay đổi nhiệt độ 2°C trên bề mặt wafer có thể khiến kích thước của các chi tiết thay đổi vài nanomet; điều này ảnh hưởng đến toàn bộ lô sản phẩm. Do đó, bộ phận gia nhiệt cần phải duy trì độ ổn định nhiệt cao, tương tự như bộ phận quang học dùng trong máy quét.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi thiết kế bộ phận gia nhiệt này sao cho độ đồng đều nhiệt độ trên bề mặt wafer nằm trong khoảng ±0,1°C. Bộ phận này sử dụng đèn halogen sóng ngắn được đặt bên trong vỏ bằng thạch anh có độ tinh khiết cao; nhờ đó, việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng, với ít sự chậm trễ do độ trễ nhiệt. Điều này giúp duy trì độ ổn định nhiệt độ, từ đó giúp quá trình loại bỏ chất hoà tan trên bề mặt wafer diễn ra hiệu quả, mà không gây ra sai số.
Bộ phận này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch cấp độ 1–100. Các vật liệu được sử dụng đều được chọn lựa kỹ lưỡng nhằm tránh việc tạo ra bụi bẩn trong quá trình vận hành. Độ lặp lại của quá trình gia nhiệt vào mức ≤0,05°C, điều này giúp duy trì độ ổn định về kích thước của các chi tiết được chế tạo.
Tại sao bộ phận này lại hiệu quả trong quá trình in ấn?
Bạn cần một bộ phận gia nhiệt có khả năng duy trì nhiệt độ ổn định, mà không làm giảm hiệu suất sản xuất. Bộ phận này có thể đạt đến nhiệt độ cần thiết trong vài giây, nhờ đó giảm thời gian chờ giữa các lần xử lý wafer. Thiết kế có khối lượng nhỏ giúp giảm sự truyền nhiệt vào buồng xử lý, từ đó giúp duy trì độ ổn định nhiệt độ trên bề mặt wafer.
Điều này giúp đảm bảo tính ổn định của chất hoà tan trên bề mặt wafer, giảm số lần phải làm lại sản phẩm, và duy trì độ ổn định nhiệt độ trong suốt quá trình sản xuất. Vì nhiệt độ được kiểm soát chính xác, nên không cần phải bù trừ quá mức – điều này giúp tiết kiệm năng lượng.
Những điều cần lưu ý
Bộ phận này cần được lắp đặt trong môi trường phòng sạch, và cần có cảm biến nhiệt độ được hiệu chuẩn phù hợp với bước sóng ánh sáng của đèn. Hãy đảm bảo rằng nguồn điện cung cấp có điện áp phù hợp, và hệ thống kiểm soát nhiệt độ có thể điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác.
Việc thay thế đèn cũng cần được coi là một phần của công tác bảo trì phòng ngừa. Mặc dù đèn có tuổi thọ cao, nhưng chúng vẫn có thể hỏng đột ngột. Khi thao tác với vỏ thạch anh, cần tuân thủ các quy trình chống tĩnh điện – nếu không, bụi bẩn sẽ dễ dàng tích tụ trên vỏ thạch anh.