Hãy ngừng lãng phí thời gian: Tại sao việc sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone lại là giải pháp tốt nhất cho quá trình xử lý bán dẫn?
Hãy cùng nói về việc chờ đợi trong quá trình sản xuất. Nếu bạn sử dụng phương pháp làm nóng bằng không khí, bạn chắc hẳn hiểu ý tôi. Bạn phải làm nóng một lượng không khí lớn chỉ để đưa nhiệt lượng đó vào vật liệu cần được xử lý. Quá trình này diễn ra rất chậm; bạn phải chờ hàng phút cho đến khi không khí nóng lên, rồi lại phải chờ thêm một thời gian nữa để vật liệu hấp thụ nhiệt lượng đó. Điều này khiến quy trình sản xuất bị chậm lại.
Chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone thay vì phương pháp trên. Thay vì làm nóng không khí, chúng tôi truyền nhiệt thông qua bức xạ. Đây là phương pháp trực tiếp hơn nhiều.
Đèn hồng ngoại phát ra sóng điện từ, và chúng tác động trực tiếp lên vật liệu cần được xử lý. Không cần phải chờ không khí nóng lên. Thời gian cần thiết để bắt đầu quá trình sản xuất giảm từ vài phút xuống còn vài giây. Khi bạn hoạt động trong môi trường sản xuất với khối lượng lớn, những giây được tiết kiệm này sẽ tích lũy thành thời gian sản xuất dài hơn. Bạn có thể xử lý nhiều wafer hơn mà không cần xây dựng nhà máy lớn hơn.
Tuy nhiên, đèn hồng ngoại thông thường cũng có nhược điểm. Hầu hết các đèn hồng ngoại ngắn sóng đều phát ra tia UV, và trong môi trường sản xuất bán dẫn, điều này sẽ tạo ra ozone. Ozone là chất gây ô nhiễm – nó có thể phá hủy các lớp vật liệu hữu cơ hoặc làm oxy hóa các bề mặt cần được bảo vệ.
Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng các sợi dây đã được lọc và vỏ đèn bằng thạch anh đặc biệt. Những thứ này giúp chặn các bước sóng UV gây ra ozone. Điều tuyệt vời nhất là bạn không cần lo lắng về các hệ thống xử lý khí thải đắt tiền nữa.
Tuy nhiên, cũng cần lưu ý rằng bức xạ có hướng. Không khí nóng bao quanh vật liệu như một tấm chăn, nhưng bức xạ hồng ngoại thì giống như ánh sáng từ đèn pin. Nếu các đèn không được đặt đúng vị trí, sẽ xuất hiện những vùng lạnh. Bạn cần dành thời gian để xác định độ đồng đều của nhiệt độ, để đảm bảo mọi thứ được làm nóng đều.
Hầu hết các nhà máy sản xuất bán dẫn hiện nay đã bỏ qua các lò nung chậm và chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone. Đây là giải pháp đơn giản nhưng hiệu quả, giúp loại bỏ thời gian chờ đợi giữa các bước xử lý.