Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litography, các bước nung ở nhiệt độ thấp và cao chính là lúc mà đặc tính của lớp photoresist được xác định. Sự thay đổi nhiệt độ chỉ 2°C cũng có thể khiến độ dày của lớp photoresist thay đổi khoảng 20 nm; sự thay đổi này sẽ dẫn đến sự biến thiên về độ rộng của các đường kẻ trên wafer. Do đó, cần có hệ thống kiểm soát nhiệt độ chính xác, để có thể đo lường, lặp lại và theo dõi các giá trị nhiệt độ.
Yếu tố quan trọng trong việc kiểm soát nhiệt độ
Chúng tôi thiết kế传感器 này dựa trên nguồn phát ánh sáng NIR ổn định và bộ cảm biến đã được hiệu chuẩn. Nhờ đó, độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C trong suốt quá trình nung. Thiết bị này có thể được lắp đặt vào các lò nung có kích thước nhỏ, và các bộ phận quang học được đóng kín để tránh hiện tượng thoát khí, giúp giữ cho các giá trị đo được ổn định trong các phòng sạch loại 1–100. Việc loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi không phải là điều gì khó khăn; điều này có thể đạt được nhờ việc loại bỏ các bộ phận quay và duy trì trạng thái đối xứng trong quá trình vận hành. Độ lặp lại của các giá trị đo luôn nằm trong khoảng 0,1%, giúp quy trình vận hành diễn ra liên tục mà không cần phải hiệu chuẩn lại.
Tại sao thiết bị này lại hữu ích trong các lò nung
Quá trình nung lớp photoresist yêu cầu kiểm soát nhiệt độ rất chính xác. Thiết bị này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bộ bề mặt wafer, từ đó giúp kiểm soát chính xác các kích thước quan trọng của wafer, giảm thiểu số lượng sản phẩm cần sửa chữa. Bạn có thể mở rộng khoảng dao động về nhiệt độ mà không ảnh hưởng đến tốc độ sản xuất. Ngoài ra, thiết bị này còn giúp giảm số lượng sản phẩm bị hỏng, vì các sai lệch về nhiệt độ sẽ được phát hiện ngay lập tức. Điều này giúp nâng cao độ ổn định của thiết bị, giảm số lượng cảnh báo sai và các sự cố không mong muốn. Kết quả là sản lượng và thời gian hoàn thành công việc sẽ tăng lên.
Những gì cần chú ý khi lắp đặt
Việc lắp đặt thiết bị này đòi hỏi phải điều chỉnh kích thước lỗ thông khí của lò nung và xác định chính xác độ phát xạ của lớp photoresist. Nếu không làm đúng, các giá trị đo sẽ bị sai lệch. Chúng tôi cung cấp bộ dụng cụ hiệu chuẩn dành cho các loại lớp phủ phổ biến, nhưng với các loại lớp phủ mới thì có thể cần phải tiến hành việc hiệu chuẩn riêng. Hãy dành chút thời gian để kết nối thiết bị này với bộ điều khiển lò nung và điều chỉnh đường đi của chùm sáng. Một khi đã được thiết lập đúng cách, thiết bị này sẽ hoạt động với ít bảo trì nhất có thể.