石墨烯加工红外灯

在线上，温度漂移不会以警告的形式出现。它表现为曝光后的线宽漂移，或者光刻胶轮廓在批次间开始波动。对于石墨烯来说，热波动的容忍度更为严格：基板吸热快，设定点必须保持稳定，热预算不可协商。 技术重点 我们围绕调谐的近红外（NIR）发射构建了石墨烯处理红外灯，实现快速且可重复的加热。整个加热区，目标是晶...