平版印刷用低温烘烤加热元件

在300毫米光刻工厂中，所谓的“软烘烤”并非简单的预热过程，而是控制芯片尺寸精度的第一步。如果晶圆上的温度出现2℃的波动，就足以导致芯片尺寸出现纳米级的误差，进而影响整批产品的质量。因此，加热元件的热稳定性必须与扫描仪的光学组件一样高。 从技术角度来说，什么才是最重要的？ 我们设计这种加热元件时，...