লিথোগ্রাফি সফ্ট বেকিং হিটিং এলিমেন্ট
৩০০ মিমি ফ্যাব ফ্লোরে, “সফ্ট বেক” প্রক্রিয়াটি কোনো উষ্ণীকরণ প্রক্রিয়া নয়। এটা হলো ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন কন্ট্রোলের প্রথম ধাপ। ওয়েফারে ২°C এর...
সেমিকন্ডাক্টর লিথোগ্রাফি ওভেন ল্যাম্প
৭×২৪ ঘন্টা কাজ করা ফ্যাবে, ফটোরেসিস্ট বেক করানো কোনো সাধারণ প্রক্রিয়া নয়। এটাই হলো কার্যকরী প্যাটার্ন ও অকার্যকরী ওয়েফারের মধ্যে পার্থক্য।
যখন...
এএসএমএল লিথোগ্রাফি ল্যাম্পের স্পেয়ার পার্টস
ফ্যাব ফ্লোরে, প্রতিটি এক্সপোজার লটের জন্য থার্মাল বাজেট আগে থেকেই নির্ধারণ করা থাকে। যদি ল্যাম্পের আউটপুট পরিবর্তিত হয় অথবা বেকিং তাপমাত্রা ভিন্ন...