http://warm-ir-heater-build.com/cs/tags/bake/ Recent content in Bake on Custom Warm IR Heater Builds Hugo cs Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/cs/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/cs/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Element na ohřev v litografii pro měkké zahřívání"></p> <p>V prostředí výroby čipů o velikosti 300 mm není proces „měkkého zahřívání“ pouze formou ohřevu – jedná se o první krok v kontrole kritických rozměrů čipů. Změna teploty o 2 °C na povrchu čipu může způsobit posun hodnot kritických rozměrů o několik nanometrů, což má dopad na celou šarži vyráběných čipů. Ohřívací prvek musí udržovat tepelnou stabilitu stejně pečlivě jako optika skeneru.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong> Ohřívací prvek určený k použití v procesu litografie byl navržen s ohledem na jeden klíčový parametr: uniformitu teploty na povrchu čipu v rozmezí ±0,1 °C. Používá se krátkovlnná halogenová lampa umístěná v obalu z vysoce čistého křemíku – to umožňuje rychlou reakci s minimální tepelnou inercií. Díky tomu zůstává profil zahřevu přesný, což zajišťuje správné <a href="https://o-yate.com">odstra</a>ňování rozpouštědel z fotorezistentů bez nadměrných efektů.</p>