http://warm-ir-heater-build.com/cs/tags/p%C5%99esnost/ Recent content in Přesnost on Custom Warm IR Heater Builds Hugo cs Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/cs/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/cs/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Přesný infračervený senzor pro čipové destičky"></p> <p>V prostředí litografie se profil fotorezistu určuje během procesů měkkého a tvrdého zahřívání. Změna teploty o 2 °C může způsobit posun hodnoty Ttop o 20 nm, což se projevuje variacemi šířky pruhu na celé várce. Je tedy potřeba mít kontrolu teploty, kterou lze měřit, opakovat a sledovat.</p> <p><strong>Co je důležité</strong> Vytvořili jsme přesný infračervený senzor na bázi stabilního emitora v oblasti NIR a kalibrovaného detektoru. Díky tomu zůstává <a href="https://o-yate.net">teplotn</a>í uniformita na ú<a href="https://goldisgood.com">rovni</a> waferu na hodnotě ±0,1 °C během procesu zahřívání. Senzorová hlava vejde do úzkých otvorů v peci a optika je uzavřena proti unikání gasů, což zajišťuje konzistentní měření v čistých prostorách třídy 1–100. Nulová generace částic není jen reklamní slogan – dosahuje se to odstraněním otáčivých částí a udržováním pevné polohy svazku světla. Opakovatelnost výstupů zůstává v rozmezí 0,1 % po celou dobu provozu, takže delší procesy mohou probíhat bez nutnosti kalibrace.</p>