Graphenverarbeitungs Infrarotlampe

Wed, 10 Jun 2026 02:12:00 +0800

On the line zeigt sich die Temperaturdrift nicht durch eine Warnung, sondern durch eine Verschiebung der Linienbreite nach der Belichtung oder ein Photoresist-Profil, das von Charge zu Charge zu wandern beginnt. Bei Graphen ist die Toleranz für thermische Schwankungen noch enger: Das Substrat nimmt Wärme schnell auf, der Sollwert muss stabil gehalten werden, und das thermische Budget ist nicht verhandelbar.

Was technisch zählt
Wir haben die Graphen-Verarbeitungsinfrarotlampe auf eine NIR-Emission ausgelegt, die ein schnelles und reproduzierbares Aufheizen ermöglicht. Über die beheizte Zone streben wir eine Wafer-gleichmäßigkeit von ±0,1°C an, da genau dieses enge Fenster den Unterschied zwischen einem konsistenten Softbake und einem beginnenden Drift in der CD-Kontrolle ausmacht. Das System arbeitet in Reinräumen der Klasse 1–100 und ist so konstruiert, dass es keine Partikel erzeugt: Quarzkomponenten, speziell angefertigte Dichtungen und ein stabiler Filamentpfad schließen Ausgasungen und Abplatzungen aus. Das Ergebnis sind Backprofile, auf die man schichtübergreifend zählen kann, ohne einen Drift zu jagen.

Graphen on Custom Warm IR Heater Builds

Graphenverarbeitungs Infrarotlampe