IR on Custom Warm IR Heater Builds

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Sat, 25 Jul 2026 02:56:53 +0800

Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren tatsächlich wichtig sind
Wenn Sie eine IR-Lampe zum Bearbeiten von Wafern verwenden und keinen hochwertigen Reflektor einsetzen, verschwenden Sie im Grunde die Hälfte der Energie, die die Lampe abgibt. Es handelt sich dabei um ein simples Problem: Lampen strahlen Energie in alle Richtungen ab. Ohne einen Weg, diese Energie wieder zurück zur Wafer zu leiten, heizen Sie nur die Luft in Ihrem Werkraum auf.

Dabei kommt das goldbeschichtete Aluminium ins Spiel.
Warum Gold? (Und warum nicht einfach poliertes Aluminium?)
Poliertes Aluminium ist zwar nicht schlecht – es erfüllt seine Aufgabe bis zu einem gewissen Grad. Doch im langwelligen Infrarotbereich hat Aluminium Schwierigkeiten. Gold hingegen reflektiert Infrarotenergie weitaus effizienter.

Keramische Endkappe für IR Emitter

Sat, 18 Jul 2026 02:10:38 +0800

Mehr Wärme genau dort, wo sie gebraucht wird: Goldbeschichtete IR-Emiter
Wenn Sie mit Halbleiterwafeln arbeiten, wissen Sie, dass der Energieverbrauch kein bloßes Budgetproblem ist – es handelt sich dabei um ein ernsthaftes Problem. Wenn IR-Emitter eingeschaltet werden, geht ein großer Teil der Wärme einfach nach hinten, weg vom gewünschten Ziel, und nützt somit dem Prozess überhaupt nichts.

Wir lösen dieses Problem, indem wir goldbeschichtete Reflektoren sowie hochwertige keramische Endkappen verwenden. Im Grunde zwingen wir die Energie dazu, dorthin zu gelangen, wohin sie gehört – nach vorne.

Präziser Infrarot Sensor für Wafer

Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800

In den Lithografieanlagen werden die Parameter des Fotolacks durch das Weichbrennen und Hartbrennen festgelegt. Eine Schwankung von 2°C kann dazu führen, dass der Wert von Ttop um 20 nm changeiert – diese Schwankungen zeigen sich wiederum als Variationen in der Breite der Linien auf den Wafern. Es ist daher notwendig, eine Temperaturkontrolle zu haben, bei der die Werte gemessen, wiederholt und überwacht werden können.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben den präzisen Infrarotsensor um einen stabilen NIR-Emitter sowie einen kalibrierten Detektor herum konstruiert. Dadurch bleibt die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche bei ±0,1°C während des Brennvorgangs erhalten. Der Sensorkopf passt durch enge Öffnungen im Ofen, und die Optik ist vor Ausgasungen geschützt – dadurch bleiben die Messwerte in Reinräumen der Klasse 1–100 konstant. Die Vermeidung von Partikeln entsteht nicht zufällig, sondern durch das Vermeiden von drehenden Teilen sowie durch eine feste Ausrichtung der Sensoren. Die Wiederholgenauigkeit der Messwerte liegt stets bei 0,1%, sodass langandauernde Prozesse ohne Neukalibrierung ablaufen können.