Infrarotheizer für Vakuumkammern

Mon, 29 Jun 2026 03:21:30 +0800

Auf der Produktionsfläche gilt: Jeder Temperaturunterschied von sogar nur 0,2 °C kann dazu führen, dass kritische Abmessungen beeinflusst werden – mit der Folge, dass die Ausbeute sinkt. Genau hier kommen die Infrarotheizgeräte in Vakuumkammern zum Einsatz – dort, wo Wärmeübertragung und Konvektion eingeschränkt sind, also innerhalb der Kammer bei niedrigem Druck, während des Weichbrennvorgangs, des Hartbrennvorgangs sowie bei den thermischen Verarbeitungsschritten auf Waferebene.

Was wirklich wichtig ist
Wir bauen diese Heizgeräte mit Kurzwellen-Infrarotemittern in einer Quarzkapsel – dadurch erfolgt eine schnelle Reaktion und die Leistung bleibt konstant. Im gesamten Prozessverlauf wird eine Temperaturhomogenität auf Waferebene von ±0,1 °C erreicht. Die Temperaturkonstanz zwischen den einzelnen Prozessschritten beträgt ≤±0,5 °C – dadurch werden kritische Abmessungen geschützt und der Filmdruck bleibt unter Kontrolle. Das Design erzeugt keine Partikel, wodurch die Heizgeräte problemlos in Reinräumen der Klassen 1–100 eingesetzt werden können. Die Steuerung erfolgt im Schließkreis – mit kalibrierten Sensoren, die auf die Reaktion der Emittoren abgestimmt sind – anstatt durch die Temperatur der Kammerwand.

Vakuum on Custom Warm IR Heater Builds

Infrarotheizer für Vakuumkammern