Deje de esperar a que el aire se caliente: Por qué pasamos a usar lámparas de infrarrojos recubiertas de oro
Si alguna vez ha utilizado sistemas de circulación de aire caliente, sabe bien cómo funciona. Se calienta el aire y luego se espera que ese aire transmita el calor al componente que se está procesando. En el procesamiento avanzado de semiconductores, ese “intermediario” que es el aire resulta ser un obstáculo. Crea una demora innecesaria que ralentiza todo el proceso.
Decidimos eliminar ese intermediario. En lugar de calentar el aire, utilizamos lámparas con filamentos dobles y recubiertos de oro. Estas lámparas emiten energía radiante directamente sobre el sustrato. Sin esperas. Sin pérdida de tiempo.
El secreto está en el oro
Los tubos de cuarzo convencionales son aceptables, pero pierden energía. La energía se escapa por los lados del tubo. Para solucionarlo, aplicamos un recubrimiento de oro en el interior del tubo exterior. Pensemos en ello como un espejo de alta calidad: refleja toda la radiación infrarroja directamente hacia el componente que se está procesando.
Además, al tener dos filamentos en un mismo espacio, se logra una mayor densidad de calor. No es necesario hacer que la lámpara sea más larga para obtener más potencia; basta con diseñarla de forma inteligente.
Deje de perder tiempo
Los sistemas de aire caliente son lentos. Cuando se cambia la temperatura, hay que esperar a que toda la cámara se adapte. Es frustrante.
Las lámparas de infrarrojos, en cambio, funcionan de inmediato. Basta con activarlas, y los fotones llegan directamente al objetivo. Para aquellos que trabajan con obleas o componentes de precisión, esto reduce los tiempos de procesamiento en un 30% hasta un 60%. Deja de perder minutos en etapas innecesarias de calentamiento y enfriamiento.
El “problema” (porque siempre hay uno)
Bueno, esto no es una varita mágica que pueda usarse en cualquier máquina.
En primer lugar, las lámparas de infrarrojos de alta densidad ejercen mucha presión sobre el sistema eléctrico. Hay que asegurarse de que los controladores puedan manejar esa carga eléctrica repentina.
Además, debido a que el recubrimiento de oro es muy eficaz para concentrar el calor, es fácil exceder el nivel deseado si el ajuste del PID no se hace correctamente. También hay que tener cuidado con la distancia entre la lámpara y el componente que se está procesando; si se equivoca esa distancia, se podrán generar puntos calientes.
Mi consejo: conecte estas lámparas a un sistema de control por zonas. Eso le permitirá tener un mejor control sobre la distribución del calor, lo cual es exactamente lo que se necesita en el procesamiento avanzado.