Distancia de seguridad para el calentamiento de la oblea
Proteger sus obleas de silicio: La verdad sobre la integridad dieléctrica
Cuando se calientan las obleas de silicio, no se puede permitir ningún...
Calentador para secado de obleas de sensores MEMS
Una forma más inteligente de secar las obleas MEMS (sin desperdiciar energía)
Seamos honestos: el proceso tradicional de secado de obleas MEMS es...
Sensor de temperatura para herramienta de obleas
Deje de calentar las paredes del equipo y comience a calentar los wafer
La mayoría de los elementos calefactores estándar emiten energía en todas...
Reflector para lámpara de curado de obleas
Hablemos sobre la seguridad eléctrica en los reflectores utilizados para el curado de obleas.
Las lámparas utilizadas para este propósito generan...
Calentador de obleas eficiente en términos energéticos
Calentar las obleas sin que estallen
Seamos honestos: calentar las obleas durante el proceso de limpieza química es algo realmente preocupante. Se...
Sensor IR de precisión para obleas
En el área de litografía, las etapas de secado suave y duro son cuando se establece el perfil del fotoreactivo. Una variación de 2°C puede hacer que...