Sensor IR de precisión para obleas

Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800

En el área de litografía, las etapas de secado suave y duro son cuando se establece el perfil del fotoreactivo. Una variación de 2°C puede hacer que la temperatura Ttop cambie en 20 nm, y esa variación se refleja en las diferencias de ancho de línea entre los diferentes lotes. Es necesario contar con un control de temperatura preciso, que pueda medirse, repetirse y seguirse de cerca.

Lo que realmente importa Hemos diseñado el sensor de infrarrojos de alta precisión utilizando un emisor de NIR estable y un detector calibrado. De esta manera, la uniformidad térmica a nivel de wafer se mantiene dentro de los ±0.1°C durante el proceso de secado. La cabeza del sensor cabe fácilmente por las aberturas estrechas del horno, y sus componentes ópticos están sellados para evitar la salida de gases, lo que garantiza lecturas consistentes en salas limpias de clase 1–100. La ausencia total de partículas no es solo un objetivo; se logra al eliminar las partes móviles y mantener una alineación fija. La repetibilidad de las lecturas se mantiene dentro del 0.1%, lo que permite realizar procesos prolongados sin necesidad de recalibración.

Precisión on Custom Warm IR Heater Builds

Sensor IR de precisión para obleas