در خط 300mm، تغییر دمای پخت به میزان 0.5°C کنترل CD را مختل کرده و ضایعات را افزایش میدهد. در یک اتاق تمیز کلاس 1–100، وجود تنها یک ذره از هیتر کافی است تا یک قطعه (die) را خراب کند. ما هیتر مادون قرمز اتاق تمیز خود را به گونهای ساختهایم که هر دو حالت خرابی را حذف کند.
موارد فنی مهم
ما از منتشرکنندههای مادون قرمز موج کوتاه برای انتقال سریع و مستقیم انرژی استفاده میکنیم و یکنواختی دمای روی ویفر را در ±0.1°C در سراسر ناحیه پخت حفظ میکنیم. شیب دما و دوره نگهداری آن در هر بار اجرا تکرارپذیر است، بنابراین پروفیلهای پخت نرم و سخت شما پایدار باقی میمانند. بدنه هیتر سازگار با اتاق تمیز است—سطوح صاف، مواد کم انتشار گاز—و در حین کار هیچ ذرهای تولید نمیکند. کنترل دما به اندازهای دقیق است که بودجه حرارتی در گرههای پیشرفته را حفظ کند، جایی که حاشیه خطا بسیار کم است.
چرا برای خط تولید مناسب است
در خطوط لیتوگرافی، نیاز به گرمایی دارید که سریع برسد، ثابت بماند و باقیماندهای نداشته باشد. هیتر مادون قرمز ما به سرعت به نقطه تنظیم میرسد و زمان چرخه را کاهش میدهد بدون اینکه کنترل پروفیل را از دست بدهد. این هیتر 7×24 بدون توقف غیرمنتظره کار میکند و طول عمر منتشرکننده اجازه میدهد کمپینهای طولانی بدون تعویضهای مکرر انجام شود، بنابراین خط تولید پایدار باقی میماند و نگهداری پیشبینیپذیر است. نتیجه آن، ثبات در ابعاد بحرانی، کاهش ضایعات و یلد ثابت است.
مواردی که باید برای آن برنامهریزی کنید
هیتر با تنظیمات استاندارد خط نصب میشود، اما پروفیل حرارتی به هندسه محفظه و جریان هوا حساس است. راهاندازی شامل نقشهبرداری ناحیه داغ و تنظیم چیدمان منتشرکنندهها مطابق با محفظه مخصوص پخت است. یک بازه زمانی کوتاه برای یکپارچهسازی رزرو کنید و تعداد ذرات در دمای کاری را قبل از شروع فرآیند تأیید کنید.