متوقف کنید هدر رفتن گرما: چرا پوشش طلا اهمیت دارد؟
در فرآیندهای تولید نیمههادی، هدر رفتن انرژی نه تنها غیرکارآمد است، بلکه مشکلات زیادی را نیز ایجاد میکند.
وقتی از عناصر گرمایشی با توان بالا استفاده میشود، بخش زیادی از انرژی مادون قرمز در جهت صحیح خود حرکت نمیکند؛ بلکه از دیوارههای محفظه منعکس شده یا به داخل محفظه نشت میکند. این موضوع مانند سعی بر گرم کردن یک اتاق با پنجره باز است.
به همین دلیل از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. طلا در بازتاب انرژی مادون قرمز عملکرد فوقالعادهای دارد؛ این امر باعث میشود گرما به سطح ویفر برسد، نه اینکه فقط قسمتهای بیرونی دستگاه گرم شوند.
جنبههای علمی (به سادگی):
منعکسکنندههای آلومینیومی رایج هستند، اما در دماهای بالا عملکرد خوبی ندارند. طلا متفاوت است؛ این فلز در دماهای بالا نیز پایدار باقی میماند و انرژی را در طیف گستردهتری بازتاب میدهد. با افزودن لایه نازکی از طلا به منعکسکننده، میتوانیم فوتونهای از دست رفته را دوباره به سمت مقصد مورد نظر هدایت کنیم.
نکته خوب این است که میتوانیم گرمای بیشتری روی ویفر ایجاد کنیم، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ باشد.
فراموش نکنید به سیمها توجه کنید!
وقتی گرمای زیادی در یک نقطه متمرکز میشود، سیمهای الکتریکی آسیب میبینند. برای جلوگیری از ذوب شدن سیمها، از سیمهای عایقبندی شده با تفلون استفاده میکنیم. تفلون میتواند در دماهای بالا نیز عملکرد خوبی داشته باشد. اگر سیمها آسیب ببینند، کل سیستم گرمایشی بیفایده خواهد بود.
نکاتی که باید در نظر داشته باشید:
طلا جادویی نیست؛ این فلز نیز معایبی دارد. اولاً، طلا بسیار نرم است؛ اگر در هنگام نصب یا استفاده از مواد شوینده قوی، مراقب نباشید، ممکن است طلا آسیب ببیند. بنابراین باید با این منعکسکنندهها با احترام رفتار کرد.
نکته دیگر این است که طلا باعث افزایش کارایی انتقال انرژی میشود، اما میزان انرژی مصرفی توسط لامپها را تغییر نمیدهد. اگر سیستم خنککننده دستگاه کافی نباشد، تمام این گرما میتواند باعث گرم شدن بیش از حد دستگاه شود.
قبل از شروع کار، مطمئن شوید که فنهای خنککننده دستگاه، کار خود را به خوبی انجام میدهند.