کاهش انتشار کربن در کارخانههای تولید نیمههادی با استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا
تولید نیمههادیها مستلزم رسیدن به دمای مناسب است. برای مدت طولانی، از کورههای مقاومتی برای این منظور استفاده شده است؛ اما باید صادقانه بگوییم که این روش باعث هدر رفتن مقدار زیادی انرژی میشود. در واقع، برای رساندن یک ویفر به دمای مناسب، باید کل اتاق را گرم کرد.
به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا استفاده میکنیم. در این روش، تابش مادون قرمز مستقیماً به سمت ویفر میرود؛ این روش کارآمدتر است.
سرعت و کارایی
این لامپها طوری طراحی شدهاند که بتوانند به سرعت گرم شوند. ما از کوارتز با توان بالا برای این منظور استفاده میکنیم؛ زیرا گرما دقیقاً به جایی که لازم است میرود. این روش باعث میشود که انرژی کمتری هدر رود.
حفظ پاکیزگی
در اتاقهای پاک، حتی کوچکترین مقدار ذرات ناخواسته میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند. برای جلوگیری از این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ هیچ چسب ارزانقیمتی وجود ندارد، و فقط مواد تمیزی استفاده میشود که مانع نفوذ ذرات فلزی به سیلیکون شوند. علاوه بر این، کل سیستم به قدری مقاوم است که بتواند در برابر دماهای بالا مقاومت کند.
واقعیتهای مربوط به این سیستم
مشکل اینجاست که اگر قصد دارید کارخانهتان را «سبز» کنید، نمیتوانید فقط این لامپها را وصل کنید و کارتان تمام شود. باید نحوه استفاده از انرژی را دوباره بررسی کنید.
لامپهای مادون قرمز با تراکم بالا، جریان الکتریکی زیادی مصرف میکنند؛ اگر پنل تأمین انرژی کافی نداشته باشد، ولتاژ کاهش خواهد یافت. در این صورت، یکنواختی دما از بین خواهد رفت، و این مشکلی است که هیچ کس نمیخواهد آن را داشته باشد.
همچنین، نباید فراموش کرد که باید گرمای تولید شده توسط لامپها را با توان سیستم خنککننده متعادل کرد؛ اگر سیستم خنککننده نتواند گرمای اضافی را کنترل کند، لامپها خراب خواهند شد.
البته، کارهای بیشتری در زمینه الکتریکی و سیستم خنککننده لازم است؛ اما این کار، بهایی است که برای کاهش مصرف انرژی باید پرداخت شود. این روش، راه صادقانهتری برای کاهش اثرات زیستمحیطی کارخانههای تولید نیمههادی است.